Occasion HITACHI E-1030 #9377261 à vendre en France

HITACHI E-1030 est un équipement de dépôt de pulvérisation hybride à courant continu à haute performance qui offre une combinaison de vitesse, d'uniformité et de flexibilité de processus. C'est un outil puissant pour le dépôt par pulvérisation de couches minces sur des substrats tels que les semi-conducteurs, le verre et d'autres matériaux. A son coeur, E-1030 utilise une commutation de puissance haute fréquence AC/DC et un convertisseur linéaire DC/DC pour la régulation de puissance. Ce système puissant est capable de délivrer jusqu'à 1.5kW de puissance de pulvérisation à travers cinq sources de pulvérisation, chacune avec un niveau de puissance cible réglable de 0,5 à 200W. L'unité dispose également d'un contrôle automatique de la puissance de la cible en option pour un dépôt uniforme du film. L'unique convertisseur linéaire DC/DC de HITACHI E-1030 permet également d'ajuster les vitesses de dépôt des pulvérisateurs de 0,1 à 100 nm/min. La machine est capable de produire des oxydes, des métaux et d'autres matériaux avec un degré élevé de revêtement conforme et de définition des caractéristiques. Les sources de pulvérisation réglables E-1030 sont conçues pour assurer un dépôt uniforme de couches minces quelle que soit la taille du substrat. La fonction de contrôle de puissance auto-cible de l'outil garantit que les dépôts se produisent au niveau de puissance cible approprié, quelle que soit la taille du substrat. La capacité multi-zones de HITACHI E-1030 permet aux utilisateurs de pulvériser séparément sur plusieurs emplacements ou zones au sein d'un même substrat. L'actif comprend également un modèle d'alignement automatique pour le ciblage précis et le dépôt de couches minces sur les substrats. E-1030 est conçu pour offrir des taux de dépôt qualitatifs et un meilleur contrôle des procédés. Son équipement de verrouillage automatique assure la stabilité du processus et sa répétabilité. Le panneau de commande intégré du système affiche les paramètres de dépôt en temps réel, permettant un contrôle rapide et uniforme du processus. En outre, une unité avancée de surveillance en temps réel permet l'examen des données de processus et l'optimisation des processus. HITACHI E-1030 est une machine très polyvalente qui est idéale pour une large gamme d'applications de dépôt de pulvérisateurs. Avec son courant élevé, ses débits élevés, sa commutation rapide de puissance et son contrôle flexible des processus, E-1030 est un excellent choix pour le dépôt de pulvérisateurs.