Occasion INNOTEC VS-24C #190502 à vendre en France

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ID: 190502
High vacuum batch vertical sputtering chamber system Includes: Controllers Power supplies Cryopump Targets: Al Cu, Ta, Hf B2.
INNOTEC VS-24C est un appareil entièrement intégré et automatisé qui est utilisé pour tous les processus liés au dépôt physique en phase vapeur (PVD) de matériaux à couches minces. C'est une solution de dépôt sous vide en ligne qui a une large fenêtre de processus, ce qui le rend adapté à une variété d'applications. VS-24C est un système multi-sources, multi-chambres équipé de la technologie la plus récente en PVD tels que des contrôles de dépôt avancés et des diagnostics, y compris les capacités de dépôt sans obturation et nitrure. Il dispose également d'une interface utilisateur graphique intuitive basée sur Windows (interface graphique) et d'une conception modulaire flexible pour une configuration personnalisée. L'unité est conçue pour le PVD des matériaux diélectriques et semi-conducteurs. La fenêtre de processus optimisée et le contrôle de processus en boucle fermée assurent un contrôle uniforme de la qualité et de l'épaisseur du film. La conception modulaire permet d'ajouter jusqu'à quatre chambres distinctes, offrant aux utilisateurs une flexibilité quant à l'échelle des capacités de dépôt et de production. INNOTEC VS-24C est capable de fournir des résultats de dépôt fiables et de haute qualité et a une conception spécifique pour un rendement maximal en débit et en produit. Ses différentes configurations de sources et tailles de substrats lui permettent de répondre à toutes les exigences de processus particulières. La machine exécute des processus de pulvérisation rotative à impulsion temporelle, circulaire et segmentée, et a une large gamme de débits de pulvérisation, y compris une configuration avancée à deux sources, deux cibles. Il comporte également une source de puissance variable commandée par microprocesseur, qui permet un contrôle précis des paramètres de dépôt du film. VS-24C est un outil PVD avancé avec des degrés élevés d'automatisation et de contrôle, permettant aux utilisateurs de réduire le temps de traitement et d'augmenter les taux de dépôt. Sa conception réfléchie et son ensemble complet de fonctionnalités garantissent une satisfaction maximale de la clientèle.
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