Occasion INNOTEC VS-24C #9097901 à vendre en France

INNOTEC VS-24C est un équipement de pulvérisation par pulvérisation haute performance utilisé dans les applications de couches minces. Il est conçu pour fournir des films uniformes sur de grandes surfaces et a la capacité de déposer des films minces sur un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les oxydes, les nitrures et les alliages. Le pistolet pulvérisateur est constitué d'une électrode d'anode, d'un orifice de vide enerVac, d'un revêtement isolant et d'un porte-cible. Une impulsion haute tension est appliquée à l'anode, qui alimente et génère des ions à partir du matériau cible et les accélère vers le substrat. Les ions frappent le substrat et déposent le matériau cible sous forme de film mince. Le pistolet peut fonctionner en mode continu (courant continu) ou en mode RF (radiofréquence). En mode continu, les ions sont accélérés en continu, tandis qu'en mode RF, les ions sont accélérés en pulsation. Le système dispose d'une source d'ions brevetée avec une distribution plasma uniforme assistée par champ magnétique, ce qui a amélioré l'uniformité des couches minces. La taille de la source RF peut également être ajustée en fonction de la taille et de la forme de l'application pour améliorer encore l'uniformité des couches minces. L'unité est équipée d'une serrure de charge et supporte une gamme de substrats jusqu'à 8 « de diamètre et 4 » de hauteur. Il a un porte-cible de 4 "avec une option de chargement avant ou arrière. Le support de substrat peut être chauffé jusqu'à 200 ° C La machine est conçue avec des parois thermiques pour réduire le chauffage du substrat, réduisant la contrainte thermique sur les couches minces. Il dispose également d'un outil d'arrêt d'urgence pour prévenir les dommages causés aux biens par des surtensions de puissance extrêmes. VS-24C est un modèle modulaire et peut être facilement intégré à d'autres modules pour la gravure du plasma, le nettoyage des ions et d'autres procédés liés au plasma. Il est bien adapté pour les applications de couches minces dans les industries automobile, médicale et électronique.