Occasion KDF 903ix #9249504 à vendre en France

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ID: 9249504
Sputtering system.
KDF 903ix est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour le dépôt dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un système de pulvérisation verticale à trois cibles, à double source et à très haute dépression, qui permet le dépôt à basse température de films extrêmement uniformes sur tout le substrat. L'unité dispose de cathodes doubles, chacune avec trois cibles qui sont indépendamment réglables et visibles. Les cibles visualisables permettent également aux utilisateurs d'identifier rapidement quels matériaux sont pulvérisés et sur quel substrat les cibles sont alignées. L'approche à double source permet un dépôt uniforme à basse température sur tout le substrat, tandis que l'approche à descente verticale réduit la contamination des particules. 903ix dispose d'une machine de chauffage des pulvérisateurs à basse température qui permet aux utilisateurs de pulvériser des films à des températures allant jusqu'à 500 ° C Il dispose également d'un outil de trempe à forte puissance moyenne, qui permet un dépôt plus rapide et plus régulier pour tous les processus. Un creuset à vie prolongée est utilisé pour garder les particules à distance pendant le dépôt et l'assainissement du creuset robotique pour garder les films propres et sans particules. Le modèle dispose d'une seule alimentation multi-zones adaptable et évolutive, pouvant atteindre 1600 watts de puissance totale, permettant une grande variété d'options de pulvérisation. De plus, l'équipement a la capacité de compenser les effets thermiques du substrat et de la cible. Le KDF 903ix est également équipé de fonctions intégrées de surveillance et de contrôle des processus, y compris des capacités de cartographie de l'épaisseur et de la résistance des tôles électriques pour la surveillance des processus in situ. Il est capable de contrôler précisément la position et l'alignement de la tête de pulvérisation, en veillant à ce que la cible soit toujours correctement alignée avec le substrat en cours de traitement. Globalement, le système de pulvérisation 903ix est une unité avancée capable de fournir des films uniformes de n'importe quel matériau, sur n'importe quel substrat. Il est capable d'optimisation et de contrôle précis des processus, ce qui signifie que les utilisateurs peuvent obtenir des films minces précis et reproductibles avec une excellente uniformité.
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