Occasion KRAUSS MAFFEI Triathlon #9165555 à vendre en France

KRAUSS MAFFEI Triathlon est un équipement de pulvérisation développé par KRAUSS MAFFEI pour le dépôt de couches minces. Il a été conçu pour déposer une gamme de matériaux sur des substrats de différentes surfaces, tels que le verre, les métaux, les matières plastiques et la céramique. Le système de dépôt est constitué de trois sources magnétisées équipées chacune de deux cibles pouvant être utilisées pour la co-pulvérisation. Cela permet de déposer jusqu'à trois matériaux en un seul cycle, ce qui permet de déposer des structures complexes et multicomposantes. En outre, les cibles peuvent être facilement échangées pour permettre le dépôt de divers matériaux, notamment des métaux élémentaires, des alliages, des oxydes et des nitrures. L'unité de triathlon permet la pulvérisation en une seule étape et en plusieurs étapes, selon les matériaux et les structures souhaitées. La source de pulvérisation contient une chambre de procédé qui abrite les sources de pulvérisation horizontale et un hexapole électrostatique qui sert à diriger le matériau pulvérisé vers le substrat. La chambre est pressurisée pour maintenir un débit de gaz optimal pour la pulvérisation et est contrôlée en température pour une vitesse de dépôt uniforme. La source principale est équipée d'un magnétron tournant, tandis que les deux autres sources peuvent être utilisées pour la polarisation RF ou DC. La vitesse de pulvérisation est contrôlée avec un régulateur de pression réglable afin d'obtenir une vitesse et une épaisseur de dépôt uniformes. La machine est capable d'effectuer des gravures par pulvérisation pour réparer et modifier des couches ou des dispositifs existants. Ceci permet de l'utiliser pour diverses applications telles que la planarisation chimico-mécanique (CMP), l'oxydation, le recuit et l'implantation. L'outil est équipé d'un paramètre de répétition de processus à 6 voies pour le changement automatique des paramètres de dépôt et d'un moteur pas à pas pour le fonctionnement à distance. KRAUSS MAFFEI Triathlon est un atout de pulvérisation fiable et efficace qui offre un contrôle précis des paramètres et des matériaux de dépôt. Cela permet de créer des substrats complexes multi-composants et des structures de surface uniques qui conviennent à diverses applications, y compris la microélectronique, le revêtement optique, les transistors photovoltaïques à couches minces et les transistors à couches minces. Sa compacité et son faible coût le rendent également adapté à une variété d'environnements de laboratoire.