Occasion KURT J. LESKER CMS-24 #9235982 à vendre en France
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ID: 9235982
Physical Vapor Deposition (PVD) system
Includes:
Control cabinet
TEK-TEMPERATURE INSTRUMENTS TKO-100 Chiller
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
Manuals
Schematics and CD.
KURT J. LESKER CMS-24 est un puissant équipement de pulvérisation rapide conçu pour déposer avec précision des matériaux en couches minces avec d'excellentes caractéristiques d'adhérence et d'uniformité. Le système comprend plusieurs composants, dont une source d'évaporation sous vide, une source de pulvérisation radiofréquence (RF) de grande puissance, un étage automatisé à deux axes de précision et une unité automatisée de chargement/déchargement de plaquettes in situ. La source d'évaporation à vide 3Hybrid aide à la déposition de film mince en chauffant un creuset contenant une matière qui est alors évaporée et déposée sur un substrate. Le creuset est chauffé à une température déterminée par un réchauffeur à induction de forte puissance, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision la température de la source et la vitesse de dépôt du point final sur une large plage. La source de pulvérisation RF est basée sur un substrat cathodique chimiquement inerte, qui fonctionne à haute puissance et vitesse de dépôt sur une large surface. La source est capable de produire des films minces avec une excellente adhérence, une grande homogénéité, et de faibles caractéristiques de micro-bossage. Ceci assure une homogénéité optimale du matériau en couche mince déposé sur le substrat. L'étage automatisé à deux axes de précision offre un positionnement robotique précis du substrat et de la source d'évaporation, tout en surveillant la température, la position et la vitesse de dépôt. La machine est capable d'un alignement précis des sources, permettant un dépôt précis des couches minces. En outre, l'outil automatisé de chargement/déchargement des plaquettes in situ augmente l'efficacité de manutention des plaquettes, ce qui permet une installation et un chargement rapides et faciles des panneaux ou des supports sans avoir à entrer et aligner manuellement les plaquettes. L'actif permet également de filtrer automatiquement les substrats de plaquettes pour s'assurer qu'ils sont dans des tolérances de taille spécifiques. CMS-24 modèle de pulvérisation est un outil puissant pour le dépôt précis de couches minces, permettant aux utilisateurs de produire des matériaux de haute qualité qui sont uniformément déposés avec d'excellentes caractéristiques d'adhérence. Avec des caractéristiques robustes et un équipement de chargement/déchargement automatisé de plaquettes in situ, le système offre des capacités de dépôt de film efficaces et fiables pour les besoins industriels les plus exigeants.
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