Occasion KURT J. LESKER Torus 101 #53523 à vendre en France
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ID: 53523
Magnetron round sputtering source
With ground shields & feedthrus
Diameter: 6 3/8"
Aluminum target.
KURT J. LESKER Torus 101 est un équipement de pulvérisation magnétron conçu pour des applications de dépôt en couches minces. Le système fonctionne en deux modes, DC ou RF, pour améliorer l'uniformité et l'adhérence du revêtement. Le mode DC est idéal pour une utilisation lorsque l'uniformité de la couche pulvérisée n'est pas critique, tandis que le mode RF est idéal pour des couches de matériau haute densité et très uniforme. L'unité comprend un contrôle de débit de gaz variable, un contrôle de pression et une unité centrale de traitement pour un contrôle précis des taux de dépôt, de l'épaisseur du film et d'autres paramètres. Le tore 101 utilise une source de magnétron de forme annulaire qui produit des ions de haute énergie pour pulvériser le matériau cible. Cette conception permet un dépôt de film extrêmement uniforme sur toute la surface d'un substrat. L'épaisseur du dépôt peut être variée tout en conservant une qualité de film uniforme en mode RF. Une machine à vide est intégrée à l'outil de pulvérisation pour éliminer les gaz ou particules générés au cours du processus. L'actif comprend un capteur de température et un réseau d'adaptation quart d'onde pour contrôler précisément l'énergie ionique. La conception avancée de l'alimentation électrique permet un fonctionnement à la fois haute et basse puissance. De plus, un modèle de pompe turbo-moléculaire est intégré à l'équipement pour atteindre la température de substrat désirée et maintenir une stabilité optimale de vision lors du dépôt. En outre, le système avancé de pulvérisation KURT J. LESKER Torus 101 dispose de diagnostics embarqués qui permettent à l'utilisateur d'évaluer les performances de l'unité. Les diagnostics fournissent des informations sur l'état du magnétron, de la machine à vide, de la température, du débit de gaz et d'autres paramètres. Pour améliorer encore la précision, les utilisateurs peuvent choisir parmi une variété de recettes sophistiquées pour un dépôt optimal en couches minces. L'outil de pulvérisation Torus 101 est une solution idéale pour le dépôt rapide et uniforme de couches minces ainsi que pour les applications de gravure plasma et d'oxydation. L'actif est conçu pour répondre aux besoins de tout laboratoire de taille moyenne et permettre des résultats fiables et reproductibles. Sa polyvalence et sa précision le rendent adapté à des applications industrielles et de recherche dans un large éventail de domaines, tels que la microélectronique, l'optique et l'ingénierie aérospatiale.
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