Occasion LEYBOLD Helios 2100 #293601797 à vendre en France

LEYBOLD Helios 2100 est un équipement de pulvérisation à double magnétron conçu pour enduire des substrats de grande surface. Ce système dispose de deux sources magnétron indépendantes et offre une plus grande flexibilité de processus et un débit plus élevé que les systèmes à double cible à source unique. Il permet également un large éventail de matériaux et d'applications, y compris les semi-conducteurs, l'optique, les écrans et l'emballage. Helios 2100 utilise une source à double magnétron avec une alimentation électrique de 0,5-4,0 kW pour le dépôt de film de précision. Les sources de pulvérisation magnétron à courant continu intégrées ont un contrôle de processus intégré pour l'uniformité et la répétabilité, et l'unité comprend une machine intégrée de surveillance de la température des plaquettes. Les sources peuvent être montées et descendantes pour accueillir jusqu'à trois tailles de substrat et présenter un intervalle vertical réglable entre les substrats. L'outil dispose également d'un contrôleur de processus embarqué, d'un fonctionnement automatique, d'un outil de cartographie des plaquettes en 10 points et d'une fonction d'économie de recettes et de paramètres. LEYBOLD Helios 2100 a un design robuste qui permet un entretien et un nettoyage faciles. L'enceinte a été conçue pour réduire la contamination et le temps d'arrêt. Le modèle offre également une variété d'options pour augmenter ses capacités d'enrobage de pulvérisation, telles que la source de plasma DC, la puissance RF, la pulvérisation réactive et la pulvérisation à plusieurs niveaux. Les sources de pulvérisation magnétron à courant continu impulsionnel intégré, cathode creuse et « double cible » offrent une uniformité de film supérieure et des taux de dépôt accrus. Helios 2100 offre une gamme de fonctions de contrôle de processus et de protection, telles que le contrôle de puissance, le refroidissement de l'eau et la climatisation à courant continu. Son équipement de démarrage souple permet une intégration transparente avec les systèmes d'automatisation des installations, et son logiciel complet permet de surveiller facilement le processus à partir d'un PC. Le système comporte également des dispositifs de sécurité, tels que l'arrêt automatique lorsque les conditions de fonctionnement dépassent les limites prédéterminées. En conclusion, LEYBOLD Helios 2100 est une unité de pulvérisation puissante et fiable pour les substrats de grande surface. Il offre une uniformité et une répétabilité du film supérieures, ainsi qu'une large gamme de fonctions de traitement et de protection pour assurer un fonctionnement sûr et efficace.