Occasion LEYBOLD Helios 400 #293590262 à vendre en France
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Vendu
ID: 293590262
Taille de la plaquette: 4"
Sputtering system, 4"
OMS 5000
Hydrogen
PBS Plasma source: (2) Gases (Oxygen and Argon)
Load lock
(2) Vacuums
Power control
(1) Chamber
Control panel
Targets:
(4) Silicon
(2) NiCr
(2) NbTa
(2) TiTaAI
Turbo pumps:
TPH 1501 UP
TC100
8-Position for 4" deposition
3D Glass tube deposition
Manuals included.
LEYBOLD Helios 400 est un équipement de pulvérisation haute performance, conçu pour des applications industrielles et de recherche. Il fournit un haut degré de contrôle de processus et de précision pour pulvériser des couches minces sur une large gamme de substrats. Helios 400 a une conception modulaire, ce qui lui permet d'être configuré pour répondre aux exigences spécifiques des applications. Le système dispose d'une chambre en acier inoxydable à vide avec une pression de base supérieure à 2 × 10-6 mbar. La configuration de chambre flexible peut accueillir jusqu'à quatre sources de pulvérisation, avec une gamme de tailles disponibles. Les sources peuvent être positionnées indépendamment, ce qui permet des zones de dépôt de couches minces grandes et complexes. L'unité dispose également d'une machine intégrée de manutention de substrat, permettant un positionnement efficace et précis des échantillons. LEYBOLD Helios 400 dispose de LEYBOLD outil avancé de contrôle des pulvérisateurs, fournissant un contrôle précis du processus et des taux de pulvérisation répétables. L'actif est également compatible avec la surveillance des processus, permettant une optimisation continue des processus. Le modèle est compatible avec le vide et peut être intégré à une gamme de gaz de procédé et de systèmes de pompage. Une gamme d'options de contrôleur est disponible, offrant l'accès à de multiples fonctions de contrôle et une gamme de sorties de données pour la surveillance des processus. L'équipement est également compatible avec une gamme de magnétrons externes, permettant le dépôt de matériaux à hautes propriétés magnétiques. En plus de ses applications de pulvérisation, Helios 400 peut également être utilisé pour diverses autres tâches, telles que la gravure, la formation de bi-couches et le dépôt de revêtements à haute réflexion et de protection. Cette flexibilité et ce contrôle rendent LEYBOLD Helios 400 idéal pour la production de films minces de haute qualité et fiables.
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