Occasion LEYBOLD HERAEUS Z550MS #31347 à vendre en France

ID: 31347
Style Vintage: 1987
Sputtering system Load lock system Mechanical component: Frame with liner Vacuum chamber with sight glass Chamber lid with bores for mounting cathodes High vacuum valve NW 150 with throttle position Electrical component: Rack cabinet, 19" Switchboard including fuses and connections Pumping system with turbo molecular pump and vacuum gauge control Vacuum gauge controller IM 110 D Ionization vacuum gauge D40B Rotary vane pump: (2) Stages Pumping speed 40 m³/h Flow control: (2) Gases complete with sensor Control valve Control rack Digital indication Backing plate Substrate load lock: Load lock including high vacuum valve Electro pneumatically operated Load lock Pumping system Vacuum gauge controller DC Sputtering equipment: DC Power supply type: SSV 3.5 Power: 3.5 kW Maximum voltage: 600 V Cathode selector switch (4) High rate cathodes PK 150: Complete with magnets and insulators without target material Substrate carrier: Made of Aluminium, insulated for RF bias and RF etching Infrared heating station Shutter Special aperture diaphragms Sputtering timer (4) Targets: 1st Target: Pt 2nd Target: Pd 3rd target: NiCr RF Equipment: RF Generator: RF Sputtering / RF Etching IS 2.5 Process switch RF Etching and RF Bias in process module Control system upgraded Manuals 1987 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z550MS est un équipement de pulvérisation utilisé pour produire des couches minces sur les surfaces. C'est un système très efficace et rentable qui permet l'application de couches minces sur une variété de substrats, y compris les métaux et les polymères. Z550MS présente une source de pouvoir vigoureuse de 4 kW et des commandes numériques faciles à l'utilisation qui tiennent compte des adaptations rapides, exactes. Son unité de contrôle de pression intégrée permet un contrôle précis de la pression de la chambre et permet d'obtenir des résultats optimaux. La machine dispose également d'une capacité multi-sources, permettant la pulvérisation simultanée de différents matériaux. Les cibles de pulvérisation de LEYBOLD HERAEUS Z550MS sont faites de matériaux épais et performants en alliage de carbone et d'aluminium. Les objectifs à deux zones inclus permettent une meilleure distribution de la puissance pour créer des revêtements uniformes ; ils contribuent également à augmenter les taux de pulvérisation et à réduire les pulvérisations hors cible. La conception de la cible à deux zones permet également de réduire les temps de chargement et d'améliorer l'uniformité des films lors de la pulvérisation de plusieurs matériaux différents. Z550MS utilise une technologie révolutionnaire de pulvérisation à haut débit qui augmente le taux de pulvérisation, améliore l'uniformité des processus et réduit les temps d'enrobage globaux. Le puissant outil de refroidissement par faisceau réduit l'érosion inter-sources et permet une plus grande gamme de conditions de dépôt. La tête Sputter de LEYBOLD HERAEUS Z550MS est conçue pour des opérations de pulvérisation de haute précision et dispose d'un capteur d'inclinaison réglable pour des vitesses de dépôt précises sur de grandes surfaces. Il dispose également d'une surveillance à distance et d'un écran tactile LCD intuitif avec des commandes numériques qui permettent un contrôle et une surveillance inter-couches précis. L'actif est capable de pulvériser des métaux, des oxydes, des nitrures et des cibles céramiques. La conception modulaire de Z550MS permet un nettoyage, un entretien et une mise à niveau faciles. Il est livré avec un modèle de sécurité de cible de charge facile qui verrouille automatiquement la cible lorsqu'elle est hors de la chambre, ajoutant sécurité et commodité à votre configuration. LEYBOLD HERAEUS Z550MS comprend également un équipement de chauffage de substrat in situ et un détecteur de fuite d'hélium intégré pour améliorer les performances et garantir la meilleure qualité des films minces. En conclusion, Z550MS est un système de pulvérisation puissant et efficace qui offre la capacité de générer des films minces de haute qualité sur une variété de substrats. Ses composants fiables, son design convivial et ses multiples fonctionnalités en font un excellent choix pour tous ceux qui recherchent une solution abordable et efficace pour les applications de pulvérisation.
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