Occasion LEYBOLD HERAEUS Z550S #9192875 à vendre en France
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ID: 9192875
Sputtering system
With load-lock
(5) Cathode positions
(4) Cathodes PK150
Heater
RF & DC Sputtering.
LEYBOLD HERAEUS Z550S est un équipement de pulvérisation conçu pour effectuer un dépôt physique en phase vapeur (PVD) en utilisant une large gamme de cibles de pulvérisation. Il utilise un dépôt cathodique en arc PVD pour déposer des couches minces de matériaux métalliques et non métalliques de haute pureté avec des épaisseurs variables. Il peut également être utilisé pour fabriquer des revêtements monocouches et multicouches. Z550S système de pulvérisation est conçu pour être utilisé dans la recherche avancée et des applications industrielles telles que les écrans de qualité semi-conducteur et les revêtements optiques. LEYBOLD HERAEUS Z550S dispose d'une tourelle à quatre cibles avec un angle réglable afin de faciliter l'alignement du film et la conformité des couches. La chambre de pulvérisation est de 6 « (152 mm) de diamètre et de 18 » (457 mm) de longueur, ce qui lui donne un grand volume de chambre pour pulvériser des substrats de plus grande surface. Z550S peut accueillir des substrats jusqu'à 8 "(203 mm) de diamètre et jusqu'à 4 ″ (102 mm) d'épaisseur. Une enveloppe de refroidissement intégrée permet de minimiser le chauffage des cibles et des substrats. L'unité de pulvérisation de LEYBOLD HERAEUS Z550S possède une source d'ions à haute résonance cyclotron électronique (ECR). Cette source d'ions fournit un bombardement ionique beaucoup plus uniforme et homogène sur les cibles et les substrats que les sources d'ions RF (RF-PVD) classiques. La source d'ions ECR présente une excellente uniformité de vitesse de dépôt sur de grandes surfaces de substrat et convient à toutes sortes de cibles spéciales telles que les matériaux non conducteurs et les cibles d'érosion lente. Z550S machine à pulvériser est équipée d'un logiciel avancé de contrôle des processus qui permet aux utilisateurs de programmer facilement les procédures de dépôt et de surveiller les paramètres de dépôt. Le logiciel permet également aux utilisateurs de créer une base de données de processus, qui peut stocker et charger des paramètres pour les processus de revêtement traditionnels et complexes. L'utilisateur peut surveiller et contrôler la température du substrat grâce à l'interface informatique de LEYBOLD HERAEUS Z550S. Z550S outil de pulvérisation est conçu pour un entretien facile et ses composants sont fabriqués à partir de matériaux de haute qualité pour une durabilité et une fiabilité maximales. Son logiciel peut être facilement mis à jour via un lecteur flash et l'actif dispose également d'un service de diagnostic à distance et de dépannage pour minimiser les temps d'arrêt. En conséquence, LEYBOLD HERAEUS Z550S est un modèle fiable, abordable et facile à utiliser pour la recherche et les applications industrielles.
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