Occasion LEYBOLD HERAEUS Z650 #32461 à vendre en France
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ID: 32461
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1990
Inline sputtering system with loadlock, 2 chambers with 3 diode targets per chamber, 8", Plasma Source: RF-power supply Hüttinger TIS0.5/13560
1990 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z650 est un enrobeur de pulvérisation multi-sources haut de gamme conçu pour le dépôt de couches minces de matériaux sur diverses surfaces de substrat. Il est utilisé dans un large éventail d'applications telles que les composants diagnostiques médicaux de dispositifs médicaux, les écrans plats, les emballages semi-conducteurs et les matériaux photovoltaïques. LEYBOLD HERAEUS Z 650 est composé de deux parties principales - une alimentation électrique et une unité de pulvérisation. L'alimentation comprend trois canaux distincts et peut traiter jusqu'à cinq sources de pulvérisation indépendantes. Il est équipé d'un écran numérique pour surveiller les niveaux de tension, de courant et de puissance de chaque source. Le courant est surveillé à 259 positons le long de l'arc de pulvérisation pour garantir un processus de pulvérisation optimal. L'unité de pulvérisation est constituée d'un mandrin rotatif, qui peut être utilisé à la fois pour le dépôt de pulvérisation sans ombre et la pulvérisation normale sur un substrat. La cible de pulvérisation est maintenue dans un porte-cible flottant avec un angle d'inclinaison variable allant jusqu'à 10 degrés. Ce support peut être déplacé dans les directions X et Y pour assurer une couverture uniforme de l'ensemble de la cible de pulvérisation. La chambre de pulvérisation peut être actionnée dans différentes conditions de pression de fond allant de 1 mbar à 13 mbar. Z650 le système bénéficie de capacités de sources multiples et d'un large choix de cibles. Il est capable de revêtir divers métaux, semi-conducteurs et leurs dérivés, tels que l'aluminium, le cuivre, le molybdène, le tungstène et le chrome. La conception modulaire permet de configurer plusieurs configurations de pulvérisation simultanément, offrant aux utilisateurs différents avantages, tels qu'une productivité accrue et une polyvalence accrue des processus. L'unité de pulvérisation Z 650 dispose de contrôles avancés pour obtenir des résultats précis et reproductibles. Le Data Logger intégré fournit des informations de processus en temps réel, qui peuvent être transférées et stockées sur une clé USB pour une analyse plus poussée des données. La machine comprend également une pompe à vide VacPit tout-en-un en option avec un support sans huile. L'outil de pulvérisation LEYBOLD HERAEUS Z650 offre des caractéristiques avancées et un contrôle précis pour le dépôt de couches minces sur diverses surfaces de substrat. La conception modulaire offre de la flexibilité en termes d'utilisation, et l'amélioration de la productivité est obtenue avec les capacités de sources multiples. Le Data Logger fournit des données en temps réel et est complété par la pompe à vide VacPit intégrée pour un environnement plus propre.
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