Occasion LEYBOLD OPTICS Pegasus #9299848 à vendre en France
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ID: 9299848
Style Vintage: 2015
PVD Sputtering system
(2) MAGNETRON Cathodes for DC and MF Sputter
Ion source: Gpi PPALS 203
(2) Dis 2000V Chambers
(2) HUTTINGER Truplasma DC3050 Electronics
ADVANCED ENERGY Pinnacle Power supply
(6) SHIMADZU EI-D 303M Pump controllers
(2) AOL GSM 300 / 500 Power supplies
RGA analyzers
Spare parts
Cables
Platform
2015 vintage.
OPTIQUE LEYBOLD Pegasus est un puissant équipement de dépôt de pulvérisateurs ultramoderne conçu pour produire des couches minces de haute qualité. Il est construit sur la technologie éprouvée de vide Leybold et comprend une pompe turbomoléculaire avec une pompe de support, un contrôleur numérique GD2004/QD, un verrouillage de charge bien conçu et deux sources de pulvérisation magnétron différentes. En outre, le système dispose d'un positionnement précis et fiable du substrat et d'un contrôle de la température de verrouillage de la charge, ainsi que d'une optimisation de la température de la source in situ et des paramètres de l'étage. Cela permet un apport énergétique minimum et une optimisation du rendement. Le réacteur principal de l'unité est équipé d'un blindage de chambre en acier inoxydable. Il est conçu pour offrir une protection maximale au personnel, aux composants et aux revêtements. L'ensemble de la chambre contient également des portes de sécurité à ouverture et fermeture rapides pour une protection supplémentaire. Le Leybold Pegasus utilise une source double magnétron fonctionnant à la fois à des niveaux de puissance continue et pulsée, ainsi qu'une source d'ions ECRN pour le bombardement ionique haute densité. Il fonctionne à une pression allant jusqu'à 6E-2 Torr avec une distance source-substrat allant jusqu'à 60mm, et une ouverture de chambre allant jusqu'à 16 pouces. De plus, la taille du substrat peut aller de 2 à 15 pouces, avec une puissance de pulvérisation allant jusqu'à 3 kW. La machine fonctionne avec un porte-échantillon à commande manuelle et permet le dépôt de matériaux conducteurs et non conducteurs tels que métaux, diélectriques, oxydes, polymères et alliages. Il dispose également d'un outil intégré de refroidissement de substrat pour le contrôle de la température pendant le dépôt, et est capable de déposer des vitesses allant jusqu'à 8 µm/min. En outre, le Leybold LEYBOLD OPTICS Pegasus comprend une interface utilisateur graphique conviviale, un outil de surveillance des processus et un moniteur de température assurant un contrôle exact de l'épaisseur du revêtement. Toutes ces caractéristiques contribuent à des résultats précis et reproductibles, ce qui en fait l'outil idéal pour de nombreuses applications industrielles telles que le développement d'écrans plats, le dépôt de films optiques, les revêtements tribologiques et la fabrication de composants et d'instruments médicaux.
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