Occasion MRC 603 #166780 à vendre en France

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Fabricant
MRC
Modèle
603
ID: 166780
In-line sputter system Features 3 Planar magnetron targets RF & DC sputter capability Cryo pumped.
MRC 603 est un équipement de pulvérisation magnétron développé par Advanced Energy Industries, Inc. pour le dépôt de couches minces. Ce système est équipé de deux sources magnétron à courant continu, qui génèrent des pulvérisations magnétron à champ croisé dynamiques en utilisant la loi Langmuir-Child. Par ce procédé, des particules du matériau cible sont pulvérisées et entrent en collision avec un substrat, entraînant la formation d'un film mince sur le substrat. 603 est conçu pour traiter une variété de substrats, y compris les métaux et les matériaux semi-isolants. Elle offre les avantages d'une faible consommation d'énergie, d'une réduction du coût de la machine et d'une augmentation du taux de dépôt des pulvérisateurs. Cet outil dispose d'un outil automatisé de détection et de contrôle des points d'extrémité, qui élimine la nécessité d'une surveillance manuelle du processus de pulvérisation. MRC 603 peut être configuré avec deux sources de lumière ultraviolette (UV) qui fournissent une puissance lumineuse constante et de haute intensité. Cette lumière est alors focalisée sur la cible de dépôt par une lentille de projection. Par ce procédé, le matériau cible est exposé à la lumière UV puis sublimé sous forme d'un nuage de vapeur et déposé sur le substrat. Le modèle 603 offre une souplesse dans le choix des paramètres de dépôt et permet d'optimiser les conditions de procédé lors du dépôt du film. Un équipement de débit d'oxygène peut également être ajouté au système pour favoriser des vitesses de dépôt plus rapides. De plus, l'unité permet l'inclusion de diverses sources d'ions, comme la morganite, le titane-platine et le dioxyde de carbone (CO2). Ces caractéristiques et capacités de la machine MRC 603 en font un choix idéal pour le dépôt de couches minces. Le haut degré de contrôle, la précision, la flexibilité et la rentabilité rendent cet outil attrayant pour une variété d'applications de dépôt. La capacité à manipuler plusieurs matériaux de substrat et à effectuer des dépôts de films précis et reproductibles offre aux utilisateurs des performances améliorées dans leurs procédés de couches minces.
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