Occasion MRC 603 #293658459 à vendre en France
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ID: 293658459
Taille de la plaquette: 2" - 6"
Style Vintage: 1987
Sputtering system, 2"-6"
No compressor
No chiller
Pump
Capacity:
36 – 2" (5 cm) diameter wafers
or 16 – 3" (7.6 cm) diameter wafers
or 9 – 4" (10 cm) diameter wafers
or 5 – 5" (12.5 cm) diameter wafers
or 4 – 6" (15 cm) diameter wafers
1987 vintage.
L'équipement de pulvérisation thermique MRC 603 est un appareil à très haute pression, à faible émission et à très haute tension, utilisé pour déposer des microstructures à couches minces sur des substrats tout en minimisant les dommages et la contamination par ultra-basse pression. Au cœur, le système 603 se compose d'une chambre de 3 pouces et de pulvérisateur magnétron en molybdène, avec une alimentation en courant continu, contrôleur et régulateur de débit massique pour maintenir des conditions de processus optimales. Cette unité est spécifiquement conçue pour déposer des matériaux avec une grande pureté et uniformité afin de maximiser les performances du dispositif, tout en contrôlant les paramètres de processus, tels que la température du substrat et la vitesse de pulvérisation, pour modifier facilement les propriétés du film. De plus, sa conception à faibles émissions assure une perte minimale de rendement des pulvérisateurs et un environnement plus propre. La machine utilise une source de pulvérisation réactive à courant continu, constituée d'un aimant intégré et d'un canon à faisceau d'électrons, pour délivrer un bombardement contrôlé des particules, ce qui conduit à un dépôt de film uniforme et très stable. L'aimant dirige le flux d'ions vers le substrat, qui est maintenu en position concentrique par rapport à la tête de pulvérisation magnétron, et aide à disperser les particules énergétiques uniformément sur la surface du substrat. En contrôlant la puissance et la pression de pulvérisation, l'outil peut déposer des matériaux avec une structure de grain cohérente et des caractéristiques de matériau optimales. L'actif est équipé d'une variété de dispositifs de sécurité, tels qu'un verrouillage de la pompe à vide et un arrêt d'urgence, pour assurer un fonctionnement sûr. Il comprend également une fenêtre de visualisation et une caméra vidéo à distance avec un moniteur, de sorte que les utilisateurs peuvent observer le processus en temps réel. MRC 603 modèle de pulvérisation est adapté à une large gamme d'applications dans les milieux de recherche et industriels et est idéal pour la création de microstructures à couches minces. C'est une solution efficace et peu coûteuse pour créer des films de haute qualité aux propriétés cohérentes.
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