Occasion MRC 603 #9161023 à vendre en France
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Le MRC 603 est un équipement de pulvérisation ultramoderne utilisé pour le dépôt de couches minces. Ce système utilise le dépôt de pulvérisateurs réactifs (MARS) magnétiquement améliorés pour déposer des couches minces avec une excellente homogénéité et des propriétés électriques et optiques supérieures. La 603 est équipée d'un support de substrat positionnable en 3D pour un positionnement précis de jusqu'à 5 types de substrats. Ce porte-substrat avancé combiné au magnétron axial assure une croissance homogène du film à chaque pulvérisation. La source de pulvérisation a également des puissances commandées par ordinateur qui peuvent être ajustées pour diverses conditions de procédé, telles que la vitesse de dépôt, la composition ou la contrainte. La MRC 603 dispose d'une unité de débit de gaz en boucle fermée qui utilise un régulateur de débit massique pulsé et plusieurs conduites de gaz pour le mélange des gaz. Ceci permet un contrôle précis de la composition et de la pureté des gaz et permet également un cyclage rapide de différents gaz de procédé. La machine à flux de gaz est également équipée d'un outil RTG (surveillance des gaz en temps réel) qui surveille la composition des gaz dans la chambre de pulvérisation à tout moment. La 603 comporte également un certain nombre de dispositifs de sécurité conçus pour protéger l'utilisateur et l'actif. Cela comprend un bouton d'arrêt d'urgence, un indicateur de surpression, un modèle anti-couronne et des systèmes intégrés de détection et de purge des fuites de gaz. De plus, MRC 603 dispose d'un port de vision grand angle qui permet à l'utilisateur d'observer le processus depuis l'extérieur de la chambre de pulvérisation. Ceci offre un moyen pratique de surveiller le processus de dépôt sans avoir à ouvrir la porte de la chambre. La 603 est également équipée d'une interface utilisateur télécommandée qui permet à l'utilisateur de configurer et d'exécuter l'équipement depuis un endroit distant. Cela améliore considérablement l'expérience utilisateur et permet aux utilisateurs de suivre le processus de dépôt à tout moment. Dans l'ensemble, MRC 603 est un système de pulvérisation perfectionné qui offre une large gamme de capacités pour le dépôt de couches minces d'une excellente homogénéité et de propriétés électriques et optiques supérieures. Avec ses nombreuses caractéristiques de sécurité, son mélange précis des gaz et son interface utilisateur télécommandée, la 603 est l'unité de pulvérisation idéale pour une large gamme d'applications de dépôt en couches minces.
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