Occasion MRC 603 #9272191 à vendre en France

Le MRC 603 est un équipement de pulvérisation connu pour le dépôt de couches minces pour diverses applications dans les industries de l'électronique, de l'optoélectronique et de l'affichage. Elle est souvent considérée comme faisant partie intégrante du dépôt en couches minces, procédé de dépôt qui consiste à introduire des couches minces de matériau sur un substrat cible afin d'améliorer les propriétés de la cible. 603 est un système avancé de pulvérisation par pulvérisation, distingué par l'utilisation de magnétrons multiples pour le dépôt de films. L'unité a été conçue pour promouvoir des couches minces composites globales homogènes et reproductibles. Il est constitué d'une chambre de bocal, logeant un ou deux ensembles de sources de pulvérisation tournantes magnétiques. Un vide ultrapuissant garantit la propreté et un rendement élevé. La technologie de pointe de la MRC 603 lui permet d'atteindre des taux de dépôt répétables jusqu'à 15nm/min en mode double cible, ou jusqu'à 10nm/min en mode simple cible. 603 peut accueillir des substrats de dimensions allant jusqu'à 350 mm de diamètre. Il dispose également d'un ordinateur de contrôle de pointe capable de sélectionner rapidement le temps de pulvérisation et de contrôler le débit de façon répétable. L'ordinateur de contrôle permet également aux utilisateurs d'ajuster n'importe lequel des paramètres du processus en temps réel pour obtenir une performance optimale de la machine pour toute exigence de dépôt. L'outil comprend également des caractéristiques de sécurité avancées telles qu'un verrouillage de sécurité sous pression pour assurer la sécurité du substrat et de l'actif dans des conditions de processus. Il a également la capacité de détecter les états de forte puissance et de prévenir l'arc. D'autres caractéristiques incluent de puissants systèmes de contrôle du gaz pour permettre des traitements inertes et réactifs ou in situ. Le modèle offre également une propreté de chambre exceptionnelle - typiquement inférieure à 1E-9T, obtenue par la combinaison d'un dipôle de chambre mobile et d'un équipement de piège à froid. Ceci est particulièrement important dans le cas des revêtements optiques. De plus, avec ses assemblages avancés de sources magnétiques de levage HPR en rotation, le système offre une grande efficacité d'ionisation et une uniformité de dépôt élevée. Au total, la MRC 603 est une unité de pulvérisation perfectionnée adaptée au dépôt de plusieurs matériaux en couches minces dans les industries de l'électronique, de l'optoélectronique et de l'affichage. Ses caractéristiques avancées, telles que les vitesses répétables, les paramètres de processus réglables, la propreté des chambres et les systèmes de sécurité, garantissent que les dépôts sont homogènes et répétables, et que le processus est fiable et sûr.