Occasion MRC 643 #293660538 à vendre en France

MRC 643
Fabricant
MRC
Modèle
643
ID: 293660538
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 1998
Sputtering systems, 12" Load lock Digital controller 3-Targets (RF and DC) 1998 vintage.
Le MRC 643 est un équipement de pulvérisation à courant continu magnétron commandé par ordinateur conçu pour les applications de gravure et de film mince. Il est conçu pour assurer un dépôt uniforme et de haute qualité des couches minces et une gravure contrôlable sous vide. Le système est capable de pulvériser jusqu'à quatre substrats ou plaquettes simultanément avec un large éventail de matériaux de revêtement. La 643 est dotée d'une conception de charge séparée unique qui augmente considérablement la polyvalence de l'unité de pulvérisation. Des substrats individuels peuvent être chargés dans chaque module fractionné puis les modules peuvent être amenés dans les mêmes conditions, permettant une commutation rapide entre cibles et substrats. Ceci diminue le temps de production et maximise l'efficacité de la machine de pulvérisation. La MRC 663 utilise une cathode de pulvérisation magnétron cryogénique. On obtient ainsi un environnement non ionisé qui permet de réaliser le processus de dépôt sans risque d'accumulation de charges ou d'accumulation de réactifs. La pression de procédé générée par le magnétron cryogénique est optimisée pour la pulvérisation d'une large gamme de matériaux de revêtement. L'outil dispose également d'une alimentation variable à 3 étages qui peut fournir une large gamme de puissances de pulvérisation allant de 1 à 50 kW. Ceci permet un contrôle précis de la vitesse de pulvérisation et de l'épaisseur du film déposé. L'actif dispose également d'un générateur de référence multicanal qui permet un contrôle précis de la pression de la chambre et des flux de gaz de pulvérisation. La MRC 643 dispose également d'un modèle de serrure qui permet de charger les substrats dans la chambre avec une exposition minimale à l'air. Ceci maintient la propreté de la chambre et minimise les risques de contamination des films déposés. L'équipement dispose également d'un cycle d'évacuation automatique pour réduire la pression de fonctionnement au niveau spécifié. Enfin, 643 est également muni d'une interface utilisateur graphique contrôlée par PC pour un contrôle et une surveillance simplifiés du procédé de pulvérisation. Cette interface offre un paramétrage facile, une surveillance des conditions de processus et un accès complet aux données historiques du système. Cette interface fournit également des données de rétroaction sur le flux média, la pression de la chambre et la fourniture de puissance, permettant un contrôle complet du processus de pulvérisation.
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