Occasion MRC 643 #83146 à vendre en France

Le MRC 643 est un équipement de pulvérisation à plusieurs chambres conçu pour déposer des couches minces par dépôt physique en phase vapeur (PVD). Ce système de dépôt avancé offre des procédés PVD fiables et reproductibles pour une grande variété de clients. La 643 comporte six chambres de procédés : trois serrures de chargement, une chambre de transfert, une chambre de chargement et une chambre de production. La construction en alliage spécial, à partir d'acier inoxydable et d'aluminium anodisé, fournit des surfaces de paroi de chambre extrêmement durables et cohérentes pour soutenir des résultats de dépôt supérieurs. L'unité comprend également une technologie de pompage de cavité active unique, qui permet des processus rapides et efficaces pour un large éventail d'applications. Cette machine inerte et ultra-haute aspiratrice combine cinq pompes à vide distinctes, telles qu'une pompe turbo moléculaire et une pompe de diffusion, pour contrôler la pression dans chacun de ses processus avec précision, stabilité et tranquillité d'esprit. Les six chambres se séparent, ce qui permet de les nettoyer et de les traiter précisément séparément, tout en maintenant les pressions et les vides. La chambre de charge et la chambre de transfert disposent également d'un verrou de charge, permettant d'effectuer différents procédés même lorsque la chambre de charge est occupée. La chambre de production est équipée d'une variété de composants technologiques. Il dispose d'un générateur RF couplé capacitivement de 40 kW (13,56 MHz) conçu pour augmenter rapidement les sources alimentées sans provoquer d'arc-en-ciel. Il y a deux sources d'alimentation de 20 « pour produire des niveaux de puissance élevés, et deux sources de 2 » pour une alimentation plus faible et le nettoyage des pulvérisateurs. Un outil de grappe de 18 cibles de 4 pouces offre une flexibilité pour une grande variété d'applications, ainsi que des capacités de gravure ionique réactive (RIE) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD). La conception exclusive de la MRC 643 réduit la complexité de l'outil de pulvérisation. L'alignement des sources et la capacité de les contrôler d'un seul point simplifie les procédures de maintenance et d'exploitation. L'ensemble de l'actif est facile à intégrer dans les installations de production existantes, contribuant ainsi à améliorer la productivité et l'efficacité. En résumé, 643 est un modèle de pulvérisation à haute performance multi-chambres conçu pour déposer des couches minces par dépôt physique en phase vapeur (PVD). Avec six chambres, un générateur RF de 40 kW, deux sources d'alimentation 20 ", deux capacités de gravure ionique réactive (RIE) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD), il est parfait pour une variété d'applications. En outre, la technologie active de pompage des cavités assure des processus rapides et efficaces, tandis que la conception exclusive simplifie les procédures de maintenance et de fonctionnement. Toutes ces caractéristiques de ce matériel de dépôt avancé le rendent très fiable et reproductible.