Occasion MRC 643 #9124209 à vendre en France
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ID: 9124209
PVD Sputtering system
CTI 4 cryo pump on load lock chamber
Preheat station
CTI Cryo 8 pump
RF Etch station
(3) DC Cathodes
(3) Gas channels.
Le MRC 643 est un équipement de pulvérisation magnétron DC à haute performance qui est conçu pour permettre le dépôt à haut débit de matériaux pour diverses applications. Il a une configuration de chambre à trois zones configurable qui peut supporter jusqu'à trois cathodes de dépôt, permettant des empilements de couches multicouches de haute densité. Le système est équipé d'une alimentation jusqu'à 5000 watts et est capable d'une puissance de pulvérisation allant jusqu'à 2500 watts, ce qui signifie qu'il peut couvrir un large éventail d'applications. La configuration en chambre à trois zones de 643 est idéale pour le dépôt d'empilements multicouches, car le substrat et les cathodes de dépôt peuvent être séparés spatialement pour éviter la contamination du substrat ou des couches de dépôt. La chambre comprend également des caractéristiques supplémentaires telles qu'une unité de contrôle de pression intégrée qui offre un contrôle de pression rapide et fiable avec une pression de consigne minimale de 1 mTorr et une pression de consigne maximale de 4 Torr. La MRC 643 offre également un excellent transport de masse vers le substrat, grâce à une conception de serrure à six doigts qui assure un transport de masse uniforme vers la surface du substrat. Les vitesses de dépôt des couches de film peuvent être facilement contrôlées, ce qui permet une gamme de vitesses de dépôt allant de ~ 1 à 10 Å/sec. Il est également capable de réaliser des procédés réactifs de pulvérisation ainsi que le nettoyage et la gravure in situ des substrats, permettant un contrôle accru lors de la mise en oeuvre des procédés. La 643 est également équipée de protocoles de sécurité bien développés qui assurent une protection fiable de la machine et du personnel. L'ensemble de l'outil de pulvérisation est contrôlé par un logiciel de commande propriétaire programmable par ordinateur. Il est capable de créer des processus semi-automatisés, ce qui permet de gagner du temps et de réduire l'erreur humaine. Dans l'ensemble, le MRC 643 offre un excellent atout de pulvérisation capable de traiter à haut débit et de déposer des films de divers matériaux, ce qui en fait un modèle idéal pour diverses applications d'ingénierie de surface.
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