Occasion MRC 662 #9248464 à vendre en France

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Fabricant
MRC
Modèle
662
ID: 9248464
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" Model no: SST-F421-270F Single spin process chamber With ALEG-310 solvent solution Main body.
MRC 662 est un équipement de pulvérisation haute performance de pointe de Speion Technologies. Il est conçu pour assurer la pulvérisation automatique, précise et efficace d'une gamme de métaux et de matériaux diélectriques sur de grands substrats. Il dispose d'un design modulaire qui permet une grande polyvalence dans les matériaux, les processus et les configurations. La chambre de pièce de 662 a un diamètre de 400 mm et une hauteur de 200 mm. Il est équipé de deux mandrins électrostatiques, actionnés par un générateur de 20 MHz, pour maintenir la pièce pendant la pulvérisation. La chambre peut supporter des charges de vide jusqu'à 5.33x10 ^ -7 Torr et des températures de traitement allant de 150 à 420 ° C. La conception tournante de la chambre de pièce permet un mouvement uniforme pendant que les électrodes se déplacent dans trois axes pour un dépôt de pulvérisation précis. La MRC 662 offre une variété de procédés de pulvérisation, y compris la pulvérisation magnétron, la pulvérisation à courant continu et radiofréquence, et la pulvérisation différentielle. Pour une précision et une répétabilité maximales, le système de pulvérisation est équipé de contrôleurs d'épaisseur numériques et d'une surveillance des processus. Il permet également aux utilisateurs de programmer jusqu'à 8 opérations de pulvérisation en un seul cycle. L'unité intégrée dispose également d'une machine programmable de distribution de gaz qui surveille et contrôle les flux de gaz pulvérisateurs pendant le processus de pulvérisation. Un outil automatisé de désembuage et de nettoyage des substrats alimenté par radiofréquence est également inclus. De plus, la 662 offre une multitude de dispositifs de sécurité, y compris des embrayages avant et arrière, un bouton d'arrêt d'urgence et un dispositif d'alarme incendie. Le modèle de pulvérisation intègre le blindage RF pour éliminer les interférences avec l'électronique voisine. Dans l'ensemble, l'équipement de pulvérisation MRC 662 de Speion Technologies est l'outil parfait pour réaliser des films de métaux et de diélectriques uniformes, reproductibles et précis sur des substrats de grande surface. Le système automatisé polyvalent est conçu avec des caractéristiques de sécurité et de commodité à l'esprit, ce qui en fait le choix idéal pour tout besoin de pulvérisation de haute précision.
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