Occasion MRC 693 #9179537 à vendre en France

MRC 693 est un équipement de pulvérisation compact conçu pour les processus de dépôt améliorés par plasma. Il s'agit d'un système de pulvérisation à trois zones, doté d'un verrou de charge de retournement avec une chambre de pré-évacuation intégrée. L'unité utilise un support de substrat standard de 300mm (12 pouces) avec un ensemble de soufflet adapté et peut supporter jusqu'à huit cibles avec des diamètres allant jusqu'à 114mm (4,5 pouces). Une chambre de procédé compacte est équipée d'une source d'alimentation 400S Series Sputter et d'une source d'alimentation en radiofréquence (RF) ICP conçue pour un contrôle élevé des dépôts et une uniformité des substrats. La chambre dispose également d'une serrure cylindrique, inclinable et hors vide pour permettre un chargement et un déchargement faciles du substrat afin de réduire le temps de cycle. La pression de base de 693 est très stable grâce à sa machine de joint torique à mouvement linéaire et ses systèmes intégrés de refroidissement et de chauffage. Son outil de traitement du gaz comprend un système de refroidissement d'entrée et un modèle de circulation du gaz. Une pompe turbo-moléculaire, étant sa pompe à vide primaire, permet à l'équipement d'atteindre une plage de pression de fonctionnement de 10 ^ -7 Torr avec un régime turbo de 2 700 l/s. La MRC 693 est contrôlée et surveillée à l'aide d'une interface utilisateur très intuitive. Il permet aux utilisateurs de personnaliser et d'automatiser les paramètres de fonctionnement et d'optimiser efficacement le processus. L'interface tactile permet également d'effectuer des réglages précis sur la puissance de pulvérisation, la vitesse de dépôt et la puissance RF. Sa boucle intelligente de contrôle du retour d'information garantit une précision et une répétabilité élevées du système. Par mesure de sécurité, l'unité est logée dans deux couches d'armoires en acier qui protègent contre les rayons X indésirables. La machine est également équipée d'un interrupteur de sécurité qui coupe toute puissance à l'unité en cas d'arrêt d'urgence. En conclusion, 693 est un outil de pulvérisation par pulvérisation hautement polyvalent et économe en énergie. Sa fiabilité et ses contrôles intuitifs en font un choix parfait pour différents processus de pulvérisation.