Occasion MRC 693 #9302975 à vendre en France

MRC 693 est un équipement de pulvérisation conçu et fabriqué par MRC. Il est utilisé dans la recherche et le développement de dispositifs semi-conducteurs, de boîtiers de circuits intégrés (IC), de dispositifs opto-électroniques et d'autres applications de couches minces. Ce système haute performance est capable de déposer des films minces avec une excellente uniformité et une excellente couverture de pas sur de grandes surfaces. Les principaux composants de 693 comprennent une lampe tungstène-halogène, pour l'éclairage linéaire des cibles pulvérisées ; une alimentation RF et des pistolets de pulvérisation ; les réseaux de distribution de gaz ; une unité à vide intégrale ; un porte-substrat rotatif ; et un contrôleur de vide. Les lampes et l'alimentation RF sont réglables pour assurer un contrôle précis des paramètres nécessaires au dépôt de couches minces de haute qualité. Les lampes Tungstène-Halogen sont utilisées avec une commande de courant réglable pour fournir une plage réglable de puissance radiométrique pour un éclairage uniforme de la cible pulvérisée. L'alimentation RF est utilisée pour créer l'état plasma nécessaire à la pulvérisation du matériau cible sur le substrat. Une caractéristique unique de la MRC 693 est la machine de distribution de gaz. Il utilise des injecteurs de gaz brevetés pour contrôler les gaz utilisés pendant le processus de pulvérisation ; ceci assure une vitesse de pulvérisation uniforme sur les grands substrats. L'outil de distribution de gaz permet également une bonne plage de pression, ce qui est essentiel pour maintenir un dépôt de film de haute qualité. En outre, l'unité est équipée d'un actif de vide intégré qui utilise une pompe à vide rotative à aubes pour atteindre une pression de base inférieure ou égale à 2 mbar. 693 est un modèle de pulvérisation versatile qui convient bien pour un certain nombre d'applications en couches minces. Il peut déposer des films minces avec une excellente couverture d'étape sur de grandes surfaces et offre une excellente répétabilité. De plus, la MRC 693 offre une excellente uniformité, ce qui est important dans de nombreuses applications. Ses paramètres réglables et son équipement réglable de distribution de gaz le rendent également facile à utiliser dans toute une gamme d'applications.