Occasion MRC 8667 #293655700 à vendre en France
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MRC 8667 est un équipement de pulvérisation magnétron RF compact pour la production de revêtements de film précis. Il est conçu pour fonctionner dans un environnement alimenté en courant continu (DC) et offre une large gamme de fonctionnalités pour améliorer la qualité et l'uniformité des applications. 8667 est adapté à une variété de types d'applications, allant du revêtement à couches minces à usage général, au dépôt spécialisé à l'échelle nanométrique, et même à des applications avancées telles que celles liées aux revêtements durs et aux couches de protection. Il est conçu pour traiter des substrats difficiles comme le carbone diamant (DLC) et des films diélectriques à bas k coûteux. Le MRC 8667 se compose d'une chambre de traitement avec un bocal scellé et une capacité de supporter jusqu'à cinq cathodes différentes, ainsi qu'un assortiment de substrats et d'autres équipements nécessaires. Il a une pression maximale de travail allant jusqu'à 10 Torr et une température de base de -10 ° C La température est contrôlée par un régulateur PID et les gaz de procédé sont introduits par des régulateurs de débit massique (MFC). Les autres caractéristiques de la chambre comprennent une fenêtre d'observation de quartz, un orifice de rinçage et un mandrin électrostatique pour maintenir le substrat pendant le traitement. Le système comprend également une alimentation radio-fréquence intégrée (RF) capable de pulvériser jusqu'à 3 kW pour assurer un revêtement uniforme de meilleure qualité sur des substrats de plus grande surface. L'alimentation supporte également le fonctionnement de différents procédés de dépôt avec des options supplémentaires telles que la rotation magnétron et le fonctionnement impulsionnel. De telles options fournissent des niveaux de puissance réglables sélectivement pour créer un contrôle plus fin de la qualité et de la structure du film. Il dispose également d'une unité de surveillance numérique pour surveiller les conditions de processus et assurer la traçabilité des paramètres utilisés pour chaque travail de revêtement. 8667 dispose également de capacités de diagnostic avancées, comme la machine de mesure MRC Resolve™ avec diagnostic in situ, qui fournit des mesures de haute précision des films déposés pendant que la chambre de procédé est en conditions de fonctionnement. Cela aide les chercheurs à mesurer les substrats en temps réel, tout en étudiant les conditions de dépôt et les propriétés du film. Par ailleurs, cet outil est également capable de contrôler des profils de fonctionnement et fournit des délais entre les différentes étapes de traitement. L'actif de pulvérisation MRC 8667 offre de nombreux avantages pour la production de couches minces. Il offre un design compact et modulaire pour une installation rapide et efficace dans un flux de travail. Le modèle est facile à utiliser et dispose de plusieurs options pour contrôler le processus, ce qui donne des films avec une grande uniformité et qualité. En outre, il est apprécié pour sa traçabilité, ses diagnostics embarqués et sa faible contamination, ce qui le rend adapté à une variété d'applications.
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