Occasion MRC 8667 #9239313 à vendre en France

MRC 8667 est un équipement polyvalent de dépôt de pulvérisateurs DC/RF produit par Applied Materials. Ce système de dépôt est conçu pour les industries semi-conductrices car il utilise un bouclier thermique rotatif pour combiner plusieurs procédés en une seule unité. Cette machine offre une intégration de processus précise, un revêtement uniforme, un débit optimal et un temps de disponibilité élevé. L'outil dispose d'une grande chambre (2,3 m x1,0 m x1,5 m) et d'un matériel intégré avancé, y compris une tête de douche en quartz, un bouclier thermique rotatif, une cryopump, un moniteur de pression de base et un contrôleur de processus à huit canaux. L'écran thermique permet d'enrober simultanément jusqu'à quatre plaquettes dans le même module, réduisant le temps total de pulvérisation de 70 %. De plus, le moniteur de pression de base et le matériel intégré de pointe permettent à l'actif de maintenir des réglages optimisés, tels que la température, la pression et la puissance RF, ce qui se traduit par des caractéristiques de film supérieures et une excellente uniformité. modèle 8667 offre un degré élevé de flexibilité et est capable de puissances RF uniques ou multiples, de dépôt précis et répétable d'une grande variété de films à différentes cibles et puissances, et de recettes multiples avec des cycles de fonctions variables et des flux de gaz. L'utilisation de composants de chambre séparés pour la douche et le substrat assure un entretien minimal avec des temps de retournement rapides. En outre, l'équipement est conçu pour conserver l'énergie, ce qui signifie qu'il produit presque zéro émission et nécessite moins de 1.3kW de puissance sur une empreinte de 1.2m2. Le MRC 8667 comprend également des logiciels de contrôle de processus de pointe pour la gestion de précision des processus définis par l'utilisateur. Ce logiciel permet aux utilisateurs de surveiller, contrôler et modifier le processus de pulvérisation. Les utilisateurs peuvent également avoir accès à des logiciels de dépôt de pulvérisateurs pour optimiser les performances dans des applications complexes, telles que le dépôt de pulvérisateurs de silicium sur isolant et la fabrication de semi-conducteurs d'oxyde métallique. En conclusion, 8667 système de pulvérisation est une unité de dépôt de pulvérisation avancée qui fournit une intégration de processus de précision, un revêtement uniforme, un débit optimal et un temps de disponibilité élevé. En outre, son matériel intégré et son logiciel de contrôle des processus lui confèrent une grande flexibilité, permettant le dépôt précis et répétable d'une grande variété de films avec des débits de gaz et des cycles d'utilisation variables. La machine est une solution idéale pour les industries semi-conductrices qui cherchent à maximiser les performances sur des applications complexes.