Occasion MRC 902 #9254520 à vendre en France

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Fabricant
MRC
Modèle
902
ID: 9254520
Sputtering system (2) Targets clamp-on DC magnetron Pallet, 12" for wafer load / Unload RF Plasma etch Water cooled CTI-CRYOGENICS 10 Cryo pump.
Le MRC 902 est un type de système de pulvérisation couramment utilisé dans les procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD). C'est un système de pulvérisation à diodes à paroi froide haute pureté, simple ou double, avec deux magnétrons de 6 pouces ou 8 pouces. Il utilise un faisceau d'électrons à haute énergie comme source d'ions, ce qui lui permet d'obtenir des taux de dépôt plus élevés et une meilleure conformité que les autres systèmes de pulvérisation. 902 est capable d'atteindre des taux de dépôt plus élevés jusqu'à 40 Angströms par minute pour une couverture et une conformité étendues en utilisant sa méthode brevetée de polarisation « Cascade ». Il intègre également une optimisation soigneuse de la pression, de la puissance et des configurations géométriques des magnétrons afin d'améliorer les performances d'uniformité. Les alimentations sont également conçues pour utiliser un circuit de protection avancé pour protéger contre l'arc haute tension et d'autres performances anormales. Le MRC 902 est équipé d'une alimentation intégrée en tube plan, qui permet de coupler les deux magnétrons de 6 ou 8 pouces tout en conservant la double capacité de fonctionnement simple et double. Cette fonctionnalité avancée permet à 902 d'atteindre des débits plus élevés lors de l'exécution de petits et grands substrats. De plus, l'alimentation du tube planaire peut être commandée à distance si plusieurs MRC 902 sont montés dans un système multichambres. MRC 902 est également équipé d'un mécanisme d'automatisation qui peut être facilement programmé pour fournir des performances ininterrompues, permettant aux utilisateurs de réduire considérablement les temps de réinitialisation et de traitement. Ceci est encore amélioré par son interface logicielle graphique facile à utiliser qui peut être utilisé pour les ajustements de paramètres de processus et la récupération de données. 902 est conçu pour une large gamme d'applications telles que la pulvérisation de couches minces, le traitement de dispositifs semi-conducteurs, les revêtements optiques, le stockage de données et les moniteurs d'affichage. Sa grande fiabilité et sa robustesse le rendent apte à être utilisé dans diverses industries, y compris l'aérospatiale, l'automobile et la fabrication de dispositifs médicaux. Ses caractéristiques en font également un excellent choix pour les applications de recherche et de développement où un contrôle précis des processus et une flexibilité sont nécessaires.
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