Occasion MRC 903 series #85308 à vendre en France
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ID: 85308
Taille de la plaquette: 12"
Vertical / downward sputtering system, 12"
Includes:
Chamber, load-lock and chassis
Cryo pump, helium lines and compressor
Rough pump
Hydraulic pump
Siemens/Omron PLC system with Siemens HMI
Computer system, wiring, pneumatics
Motor drive system
Safety interlock and emergency stop system conforming to current EU SEMI standards
10K DC power supply
Full set of documentation containing electrical drawings, user and maintenance manuals
(2) cathodes without material (dep material unknown)
Control system capable of storing 256 multi-step user selectable recipes, automatic pump-down and cryo regeneration routines.
L'équipement de pulvérisation de la série MRC 903 est un outil de production utilisé pour déposer des couches minces de divers matériaux sur un substrat. Il est conçu pour permettre un dépôt précis et répétable de couches minces sur de grandes séries de production. Le système utilise des alimentations en courant continu, RF et en courant continu pulsé pour obtenir de multiples options technologiques pour le dépôt de pulvérisateurs. MRC 903 est une unité de dépôt physique en phase vapeur avancée qui est capable de déposer des couches minces de 100nm-500nm sur de grands substrats et de grandes séries de production. La machine comprend un ensemble cible rotationnel qui permet de pulvériser une variété de matériaux, ainsi que des options pour la pulvérisation magnétron à courant continu et RF. Les alimentations en courant continu sont variables jusqu'à 500 volts et les alimentations RF sont variables jusqu'à 500 watts. L'outil comporte un certain nombre de fonctions de contrôle du procédé qui permettent un contrôle précis du processus de dépôt. Ces caractéristiques comprennent une chambre à pression variable contrôlée par ordinateur, un contrôleur de température multizone et un outil avancé de surveillance et de contrôle des processus. L'interface conviviale offre également des options de programmation avancées qui permettent de développer, stocker et rappeler à volonté des recettes complexes. Le modèle de pulvérisation MRC 903 possède une chambre à vue active qui permet de visualiser in situ le processus de dépôt, ce qui permet d'optimiser en temps réel les conditions pour obtenir les résultats souhaités en couches minces. De plus, le modèle peut être intégré à un équipement automatisé de transport de source à échantillon, permettant un dépôt rapide, efficace et répétable de couches minces sur de grands substrats. Dans l'ensemble, le système de pulvérisation 903 série est une solution de production fiable et avancée pour le dépôt en couches minces. Avec ses capacités de pulvérisation haute performance, ses fonctionnalités avancées et sa flexibilité pour les grandes et petites séries de production, l'unité offre une solution efficace pour le dépôt en couches minces.
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