Occasion MRC 903 #293793591 à vendre en France
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La MRC 903 est un équipement de pulvérisation à l'état solide à puissance pulsée conçu pour la recherche et le développement de procédés de dépôt sous vide. L'architecture de pointe de la 903 présente une configuration de magnétron plan de substrat pulsé et est capable de pulvériser du courant continu (DC) et de la radiofréquence (RF). Il a une gamme de puissance allant jusqu'à 800 W et une gamme de largeurs d'impulsions allant de 1 à 400 µs. La plate-forme est conçue pour une flexibilité maximale et le contrôle des processus de pulvérisation. Le système de pulvérisation électrique MRC 903 comporte une configuration simple ou double magnétron plan avec une zone de traitement planaire de 5 « X 5 » et des dimensions de source de 12 « X 12 ». Il a une chambre à vide en aluminium avec des orifices de vue et la chambre peut être pompée jusqu'à un vide de base de 4 x 10-7 Torr avec une pression maximale de fonctionnement de 10 mtorr. La régulation et la surveillance de la température sont gérées par un thermocontroller numérique Brooten NSTL-20. Un panneau de commande avec un affichage graphique permet de contrôler les paramètres de pulvérisation tels que la puissance, la largeur d'impulsion, la vitesse, la fréquence et la température du substrat. Des macros conviviales permettent de sélectionner des paramètres de fonctionnement optimaux avec un seul bouton. Le logiciel comprend une large gamme de profils d'applications prédéterminés pour jusqu'à 10 configurations de pulvérisation différentes et plusieurs matériaux différents. Un régulateur de débit massique améliore la précision en mesurant avec précision le débit de gaz pour les opérations réactives de pulvérisation. Des performances élevées sont obtenues grâce à un contrôle détaillé du potentiel optimal du rail de pression en fonctionnement. 903 est idéal pour le dépôt d'une large gamme de composés, des isolants aux semi-conducteurs. Il a une large gamme d'applications dans la fabrication de produits en couches minces tels que semi-conducteurs, écrans d'affichage, cellules solaires et revêtements automobiles. En plus d'avoir une grande précision, précision et répétabilité, le MRC 903 offre un débit élevé avec des dépôts de grande surface et convient aux processus de production. L'unité de pulvérisation 903 est sûre et fiable et peut être intégrée facilement dans les installations sous vide existantes. Il est construit pour durer, avec des composants de haute durabilité et de faibles exigences d'entretien. La machine fonctionne tranquillement et offre un petit facteur de forme qui le rend adapté aux espaces serrés. MRC 903 est l'outil parfait pour tout laboratoire de recherche en salle blanche ou installation industrielle.
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