Occasion MRC 903A #9038716 à vendre en France

MRC 903A est une sorte d'équipement de pulvérisation, conçu pour le dépôt de couches minces sur des substrats pour des applications en couches minces. Il a une conception à haut débit avec une unité de base multifonctionnelle, qui contient une tête de pulvérisation rotative, et une alimentation RF et DC haute puissance. L'alimentation RF est utilisée pour piloter le canon de pulvérisation magnétron RF, et l'alimentation continue est utilisée pour piloter la cible de focalisation plasma dense. La tête de pulvérisation est réglable dans les deux directions X-Y-Z, offrant une excellente uniformité sur de grandes surfaces. Ce système utilise une chambre à vide à double source pour la pulvérisation simultanée avec deux matériaux. La chambre bi-source comporte deux chambres indépendantes contenant chacune sa propre tête de pulvérisation rotative. Un échantillon de chambre de serrure est inclus pour le chargement et le déchargement des substrats. 903A possède également une goulotte Langmuir-Blodgett optionnelle qui peut être utilisée pour déposer des réseaux moléculaires ordonnés. MRC 903A est équipé d'un large éventail de fonctions de surveillance et de contrôle des processus. Un calculateur de débit de gaz est utilisé pour réguler les pressions de processus, et pour surveiller le rapport du matériau pulvérisé à Ar +. L'unité est également équipée d'un spectromètre de masse, pour la surveillance des gaz de processus tels que O2 et N2, et d'un oscillateur à cristaux pour la mesure de la puissance RF. Un élément Peltier est également inclus pour un contrôle précis de la température de l'échantillon. 903A est une puissante machine à pulvériser polyvalente qui peut être utilisée pour le dépôt de couches minces de métal, de nitrure et d'oxyde. C'est un outil à haut débit avec une excellente uniformité, un contrôle des processus hautement reproductible et fiable, et une surveillance dédiée pour la sécurité et le contrôle des processus. Avec la goulotte Langmuir-Blodgett en option, il est idéal pour une large gamme de matériaux diélectriques, semi-conducteurs et ferromagnétiques.