Occasion MRC 903M #9166595 à vendre en France

MRC 903M est un équipement de pulvérisation hautement polyvalent et fiable conçu et fabriqué par MuRata Machinery Ltd. Il s'agit d'un outil de pulvérisation perfectionné adapté pour le nettoyage de précision, la gravure, le dépôt et le traitement en couches minces sur une large gamme de substrats tels que le silicium, le cuivre, le verre, les polymères et les matériaux à faible intensité. Il se compose de trois composants principaux : une chambre à vide contrôlée avec précision, un collecteur de gaz spécialement conçu, et un système robotisé de commande de mouvement d'échantillons. La chambre à vide MRC 903 M est conçue pour atteindre un degré élevé de stabilité mécanique, thermique et sous vide, avec une pression ultime de 1x10-6 Torr. Les composants chauffants à température contrôlée peuvent maintenir des températures uniformes entre -25 Celsius et + 150 Celsius. La chambre dispose également d'une pompe Getter non évaporable (NEG) de haute pureté et de faible dégazage, qui élimine les gaz non condensables et prévient la contamination des échantillons. 903M est certifié compatible avec une large gamme de gaz de procédé, y compris Ar de haute pureté, He, O2, N2, NF3, CF4, et d'autres gaz de spécialité. Le collecteur de gaz contrôle efficacement le débit, la composition et la pression des différents gaz utilisés dans le processus de pulvérisation. Il y a des chambres séparées pour l'argon et le gaz inerte, et une vanne de dérivation pour régler la pression. Les soupapes de commande de gaz sont positionnées avec précision pour permettre un réglage précis du débit de gaz. Ceci permet à 903 M de contrôler avec précision le profil de dépôt et les épaisseurs de couche pour différents substrats. L'étage d'échantillonnage robotique MRC 903M est pré-installé avec un porte-échantillon à deux axes et une machine de serrage mécanique. Il dispose d'un moteur linéaire de haute précision en X et en Y, permettant un positionnement précis et un motif de mouvement très lisse. De plus, le porte-échantillon peut être tourné jusqu'à 180 degrés pour différents angles de couverture de pas afin d'obtenir une meilleure uniformité de revêtement. En conclusion, l'outil de pulvérisation MRC 903 M est un outil très polyvalent et technologiquement avancé conçu pour des applications de finition de précision. Il comprend une chambre à vide contrôlée avec précision, un collecteur de gaz équilibré dynamiquement et un outil robotisé de contrôle de mouvement à l'étape de l'échantillon de haute précision, ce qui le rend idéal pour le nettoyage, le revêtement et la gravure de haute précision.