Occasion MRC 943 #293749818 à vendre en France
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ID: 293749818
Style Vintage: 1980
In-Line DC Magnetron sputtering system
Position: 3-Target
RF Cathode system
EDWARDS / CTI CRYOGENICS Cryo-Torr Pump, 8"
LEYBOLD D30A Rotary vane pump
LEYBOLD WSU-151 Roots blower
EDWARDS / CTI 9600 Compressor
Does not include targets
Manuals
Baratron gauge non-functional
Missing parts:
Load lock cryopump
Transport scan motor
1980 vintage.
MRC 943 est un équipement de pulvérisation DC/RF qui est utilisé pour produire des films minces sur des substrats dans des laboratoires scientifiques. Il convient pour le revêtement de matériaux d'épaisseurs variables avec une plage de vitesse de dépôt de 0,002 à 10 nm/s. Le système comprend une chambre de dépôt, une alimentation RF/DC, une unité auxiliaire d'alimentation en gaz et une machine à vide. La chambre de dépôt comporte une cible magnétron montée verticalement jusqu'à 10 pouces de diamètre et une contre-électrode intégrée. Il est relié à un outil sous vide qui comprend une pompe mécanique et scellée à l'huile, une pompe d'appoint sèche, et une pompe moléculaire turbo pour le fonctionnement à vide élevé. De plus, l'actif comporte un modèle auxiliaire de livraison de gaz qui est utilisé pour le contrôle des procédés de pulvérisation et la livraison de précurseurs. L'alimentation RF/DC fournit jusqu'à 300W de puissance pour le dépôt uniforme du film et elle peut également être utilisée pour compenser l'érosion cible. L'équipement est hautement personnalisable et peut être utilisé avec divers gaz de réaction et précurseurs. Il est équipé d'un contrôleur basé sur microprocesseur avec une capacité de surveillance multi-zones. Il est capable de fonctionnement manuel ou automatique et possède des diagnostics de santé avancés et des caractéristiques de sécurité. En outre, il supporte les fonctions de communication à distance, permettant de surveiller et de contrôler le système à distance et offrant aux utilisateurs plus de souplesse et de commodité. En résumé, 943 est une unité de pulvérisation à haute performance fiable et adaptée à diverses applications en couches minces.
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