Occasion MRC 943 #9155815 à vendre en France

Le MRC 943 est un équipement de pulvérisation conçu pour traiter des plaquettes simples jusqu'à 8 "et ayant une capacité de pulvérisation inverse impulsionnelle. Ce système dispose d'un système de verrouillage de charge et de mécanisme qui peut transporter les plaquettes vers une chambre de pulvérisation octogonale (4,5 « à 8 ») ou une chambre quad (applicable aux plaquettes de 4 « à 4,5 »). Les deux chambres peuvent être actionnées de manière indépendante ou synchronisée, supportant un large éventail de possibilités de processus. Dans la chambre d'octogone, les aimants peuvent être tournés pour ajuster le degré de bombardement ionique Ar sur la cible, ce qui est un facteur clé de la vitesse de dépôt. Les deux chambres utilisent une unité de refroidissement thermoélectrique pour maintenir une température constante dans la zone au-dessus du substrat. Le module d'alimentation en pistolet cathodique contient une sortie allant jusqu'à 2.5kW de courant continu (DC) et jusqu'à 1kW de puissance radiofréquence (RF) pour la pulvérisation inverse impulsionnelle. Les cathodes multi-composants ont jusqu'à trois sources de pulvérisation, permettant des particules de compositions, de tailles et de particules dirigées préférentiellement selon la distance cible-substrat. Ceci permet d'adapter le dépôt des alliages avec leurs diverses propriétés physiques et chimiques. L'unité de base de 943 est équipée d'une interface de contrôle qui affiche en temps réel les informations de processus et l'état. La machine utilise une boucle de rétroaction pour permettre la répétabilité autonome du processus wafer-to-wafer, et peut être programmée pour une utilisation dans plusieurs recettes. Cela permet à l'utilisateur final de pré-programmer l'outil pour de multiples processus et de les programmer pour le fonctionnement sans avoir besoin d'une entrée manuelle. La MRC 943 dispose également d'un actif de contrôle du gaz avec jusqu'à cinq gaz pour le dépôt réactif de pulvérisateurs, et comprend également des épurateurs intégrés dans les deux chambres pour accroître la sécurité et réduire l'empreinte environnementale du modèle. Un spectromètre de masse dynamique installé dans la chambre d'octogone permet également l'utilisation de techniques de surveillance de processus telles que la surveillance in situ pour assurer la répétabilité et la cohérence du processus. En résumé, 943 équipements de pulvérisation offrent une plate-forme de traitement avancée et fiable pour pulvériser des plaquettes simples jusqu'à 8 ". Le système dispose d'un refroidissement et d'un contrôle de processus efficaces, ainsi que de dispositifs de sécurité, d'environnement et de surveillance.