Occasion MRC 943 #9199346 à vendre en France
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Vendu
ID: 9199346
Sputtering system
Compressor
Mech pump
System hardware:
MRC Load lock assembly
CTI CT-8 Cryo pump:
Load lock
Process chamber
(3) SIERRA Scientific planar 5"x15" cathodes
(3) Target shielding sets
ADVANCED ENERGY MDX-10 DC Power supply: 10 kW
MRC Hivac valve
With MRS throttle valve assembly
(3) MKS MFC
MKS 390 Baratron assembly
MRC Hydraulic system
ENI OEM-12A RF Generator
ENI Matchwork 10 RF Matching unit
Rack hardware:
GOULD / MODICON PLC Controller
GP-303 IG Controller
MKS 252 Throttle valve controller
MKS 247 MFC Controller: 4 Channels
(5) GP-275 Convectrons
TCR DC Voltage power supply (MRC Rail bias).
MRC 943 est un équipement avancé de pulvérisation magnétron D.C. qui est utilisé pour la recherche et le développement d'applications de revêtement en couches minces. Il dispose d'un grand canon à magnétron fiable et d'importantes capacités de contrôle de la vitesse de dépôt. Le système est équipé d'un générateur de plasma haute fréquence à cavité résonante pour assurer l'uniformité du plasma dans la chambre de dépôt afin d'améliorer les performances et la précision. La figure 943 comprend une configuration multi-chambres qui permet d'incorporer jusqu'à quatre matériaux cibles simultanément dans le processus. L'unité intégrée de contrôle de processus de la MRC 943 dispose d'un contrôle en boucle fermée des paramètres de processus, y compris la capacité d'ajuster le niveau de puissance, le débit de gaz et la pression de gaz sans effort. Cette machine offre la possibilité d'effectuer une large gamme de séquences d'étape de revêtement de pulvérisation, ainsi que de surveiller et d'ajuster les expositions pour assurer des résultats de dépôt précis et reproductibles. De plus, les ventilateurs de refroidissement embarqués contribuent à réduire les températures de fonctionnement et à améliorer la fiabilité et la durée de vie de l'outil. Pour effectuer le dépôt sur de nombreux substrats à haute précision, la 943 comporte deux cathodes indépendantes distinctes, qui peuvent être ajustées à distance pour choisir entre des champs magnétiques plans ou cylindriques. Cette caractéristique permet un contrôle précis du flux d'électrons et un dépôt uniforme sur une large gamme de tailles et de formes de substrat. L'actif est exploité à partir d'un écran basculant de contrôle facile à utiliser, y compris des recettes de revêtement prédéfinies pour économiser du temps et de l'énergie. Il dispose également d'une fonction de diagnostic automatique de fin de course pour le dépannage. De plus, les utilisateurs peuvent surveiller l'ensemble du processus de dépôt et ajuster les recettes en temps réel à l'aide d'une interface visuelle affichant des informations telles que la pression de dépôt, la température et les paramètres du processus. La MRC 943 comprend un logiciel complet pour le chargement des recettes, le contrôle et la surveillance des dépôts, la rétroaction et l'établissement de rapports. D'autres fonctionnalités telles que la capacité de contrôler plusieurs systèmes MRC en parallèle, la capacité d'enregistrement des données et le matériel programmable sont également prises en charge. En bref, la 943 est un modèle puissant, facile à utiliser et fiable qui offre un dépôt rapide à haute précision avec une uniformité et un contrôle précis sur l'ensemble du processus. Il est parfait pour les laboratoires de recherche, les laboratoires scientifiques et les procédés industriels.
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