Occasion MRC Mark II #9269893 à vendre en France

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MRC Mark II
Vendu
ID: 9269893
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6".
MRC Mark II est un équipement de pulvérisation développé par MRC Technologies et utilisé dans une grande variété d'industries et d'applications. C'est un système d'évaporation multi-composants avec la capacité d'effectuer la pulvérisation, le dépôt de couches minces et l'évaporation thermique. Mark II peut accueillir une variété de cathodes de pulvérisation, de matériaux cibles et de tailles selon l'application finale souhaitée. Il s'agit d'une unité en boucle fermée avec pression ambiante, permettant de maintenir une large gamme de paramètres de processus. Le MRC Mark II est doté d'une chambre en acier inoxydable de 6 mm d'épaisseur et résistante aux produits chimiques, ainsi que de deux regards en quartz de 0,5 po d'épaisseur munis d'obturateurs pour faciliter la surveillance du processus de dépôt. Une navette tournante avec support de substrat permet un transfert facile entre modules de processus. Sa machine de filtration avancée à plusieurs étages prévient la contamination de la chambre de procédé et protège les cibles pulvérisées de l'oxydation. Mark II est capable d'effectuer des dépôts multicouches sous vide ou sous atmosphère. Son élévateur permet un dépôt uniforme sur des surfaces d'échantillons inégales et ses alimentations variables permettent un contrôle précis de l'énergie ionique, ce qui lui permet de déposer des métaux, des oxydes et des nitrures. Ses sources d'alimentation en plasma contrôlent les taux de bombardement ionique et de pulvérisation, tandis que sa table rotative à 12 positions transfère rapidement des échantillons entre les processus. Le MRC Mark II a également la capacité d'être utilisé dans diverses combinaisons d'exemples de dépôts. On peut citer par exemple la pulvérisation RF/DC, la pulvérisation magnétron, la pulvérisation par faisceau d'ions, le dépôt physique et l'évaporation thermique. Il peut être combiné avec diverses sources de dépôt pour former une chambre dans un outil de pulvérisation IBS-RF par exemple, permettant le dépôt de films ultra-minces et multicouches sur divers matériaux de substrat. Ses fonctions modernes de contrôle et de surveillance comprennent la surveillance en temps réel des processus et de la température, le diagnostic des processus et le contrôle du débit de purge des gaz. Cela permet un suivi précis du processus global et la répétabilité des paramètres d'exécution de couches minces de haute qualité. Mark II est une solution idéale pour les laboratoires et les installations de production nécessitant un dépôt en couches minces pour une variété d'applications et de matériaux.
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