Occasion MRC Mark IV #293652073 à vendre en France

Le MRC Mark IV est un équipement de pulvérisation perfectionné pour le dépôt de couches minces. C'est un outil puissant pour enduire de grandes surfaces avec une grande uniformité en utilisant une large gamme de cibles et de gaz. La conception flexible permet une variété d'exigences de processus. Au cœur du système se trouve une unité de pulvérisation magnétron RF multi-canaux. Cela améliore le taux de dépôt et l'efficacité de la production. La machine est capable de cibler des substrats jusqu'à 350 mm, avec un champ de vision jusqu'à 140 x 140 mm. La configuration standard comprend jusqu'à quatre cibles à pulvériser simultanément, configurées sur une plate-forme de 3 zones. Chaque zone est contrôlée indépendamment et peut être configurée avec différents gaz, ce qui permet à l'opérateur de peaufiner le processus. L'outil est également capable de traiter un large éventail de matériaux tels que l'alumine, la silice, le titane, le vanadium et le chrome. Selon l'application, différentes configurations de pression, de puissance et de température peuvent être sélectionnées pour répondre au mieux aux exigences du client. En outre, l'actif permet l'utilisation de cibles multiples à différentes puissances dans un seul cycle pour la couverture multi-pulvérisation et multi-couche. Ceci donne au client plus de contrôle, de flexibilité et de précision dans leurs processus de dépôt de film. Mark IV est conçu pour des applications d'ultra haute précision. Il présente un modèle AutoGas™ sophistiqué où GMS et ions d'Argon sont utilisés pour équilibrer la densité de plasma et garantir l'épaisseur de déposition uniforme sur le substrate. De ce fait, le MRC Mark IV est l'équipement de base pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs, MEMS et optiques, y compris le revêtement de verre, de quartz, de métaux et de surfaces céramiques. Le système est également équipé d'une série d'outils de diagnostic, y compris une unité efficace d'AQ/CQ appelée intégrité du processus. Cela permet au client de surveiller l'ensemble du processus, y compris les émissions cibles et la réponse du substrat, en temps réel. Les outils supplémentaires comprennent le contrôle des recettes, la surveillance complète de la machine, le contrôle des processus et plusieurs options d'arrêt. Cela garantit que les processus sont cohérents et que les rendements sont maximisés à chaque course. En conclusion, Mark IV est un outil de pulvérisation avancée qui permet un dépôt fluide et précis de couches minces avec une grande uniformité. Grâce à sa technologie de magnétron sophistiquée, il peut revêtir de larges zones avec précision, ainsi que traiter une large gamme de matériaux. C'est un outil puissant pour le revêtement de grandes surfaces avec une grande uniformité, et est un excellent choix pour les applications semi-conductrices, MEMS, et optique.