Occasion MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse Mark II #9300202 à vendre en France
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MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse Mark II est un système de pulvérisation qui permet le dépôt de couches minces sur des plaquettes à une vitesse très précise. Il est constitué d'une base avec une chambre et quelques composants critiques. Cette base contient une alimentation RF, un élément chauffant RF, une cryopump et un régulateur de débit massique. La chambre contient un porte-substrat de dépôt, des contrôleurs de flux bobine/échantillon/masse et un obturateur. La chambre à vide est équipée d'une pompe à vide turbo-moléculaire et d'un passage rotatif pour réaliser un vide profond nécessaire à une pulvérisation efficace. L'élément chauffant RF est utilisé pour maintenir une température constante et la cryopump est utilisée pour obtenir une pression et une température plus basses dans la chambre. Le processus de pulvérisation commence par placer un matériau à pulvériser sur la cible puis introduire un gaz rare, généralement Ar et Xe, dans la chambre et créer un plasma. Le plasma bombarde le matériau cible qui désorbe les atomes de la cible et ces atomes sont ensuite déposés sur le substrat créant un film mince. Lors du dépôt, l'obturateur est maintenu fermé pour isoler la chambre de l'environnement extérieur, et pour assurer que seul le matériau désiré est pulvérisé. La puissance RF maintient une température constante, de sorte que le processus de pulvérisation est très précis et répétable. Le régulateur de débit massique assure la cohérence et la précision de l'écoulement du gaz de pulvérisation et de la température dans la chambre. Les régulateurs de débit de bobine/échantillon/masse assurent la stabilité et la cohérence du processus de pulvérisation en mesurant la pression de l'échantillon, en surveillant constamment le processus et en le régulant pour obtenir la couche mince désirée. En utilisant tous ces composants ensemble, le Mark II fournit un dépôt fin précis et répétable. De plus, le Mark II offre un large éventail d'options de contrôle et de processus automatisés qui permettent à l'utilisateur d'ajuster facilement la plupart des paramètres, de surveiller le processus et de l'ajuster pendant le processus de dépôt. Cette fonction automatisée permet au chercheur en matériaux de se concentrer sur des détails plus importants de leur expérience et du dépôt de couches minces. Le Mark II est un système de dépôt de couches minces très fiable et précis. Il est idéal pour les laboratoires qui ont besoin de déposer avec précision des films minces pour la recherche de matériaux avancés. En combinant l'alimentation RF, les éléments chauffants RF, la cryopump, le régulateur de débit massique et l'obturateur, il est capable de donner un dépôt fin précis et répétable idéal pour la recherche de matériaux avancés.
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