Occasion MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9108489 à vendre en France

MRC (anciennement TEL) MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star est un équipement robuste de pulvérisation qui utilise des gaz inertes pour déloger des atomes d'un matériau cible et enrober la surface d'un substrat en les déposant sur celui-ci. Les caractéristiques à basse énergie du système comprennent une source de pulvérisation à grandeur variable (haute ou basse énergie) et une chambre compacte avec une conception étroitement intégrée pour le contrôle des processus. MRC Eclipse Star a une plage de puissance de 1-15 kW, et une vitesse maximale de pulvérisation allant jusqu'à 3 nm/min. Il est équipé de deux modes de fonctionnement des stations terminales : en ligne et à bord. Le mode en ligne supporte les procédés de pulvérisation classiques, la source de pulvérisation étant éloignée de la surface de la plaquette. Le mode « edge station », par contre, rapproche la source de pulvérisation de la surface de la plaquette pour créer une couche d'oxyde définie par le bord. Cette unité de pulvérisation offre à la fois le support thermique et RF d'application, en accueillant les revêtements à basse et haute énergie. Les systèmes Electron Cyclotron Resonance (ECR) et Power Feed Forward (PFF) permettent de contrôler le plasma en plein champ, grâce à des algorithmes avancés de contrôle des processus et de rétroaction intégrés à la machine. En outre, la puissance est régulée par l'utilisation de modules PowerSource qui peuvent ajuster les signaux RF jusqu'à 500 kHz. TEL Eclipse Star peut fonctionner avec plusieurs sources de gaz, jusqu'à quatre spectromètres de masse, et une taille maximale de plaquette de 200mm. Le cliquet de câblage préinstallé empêche le surtorquage et son robot SCARA offre des vitesses de chargement, de déchargement et de manutention plus rapides. L'ensemble de fonctionnalités avancées de l'outil comprend également une chambre de pulvérisation à plusieurs cibles, qui permet de déposer plusieurs matériaux différents sur un seul substrat. Eclipse Star est également capable de diagnostics in situ et de surveillance des actifs. Sa caractéristique diagnostique avancée s'étend au-delà de l'inspection visuelle, avec un port d'extraction pour l'analyse chimique in situ de la couche en cours de dépôt. Ces caractéristiques permettent au modèle TOKYO ELECTRON Eclipse Star d'obtenir une précision élevée et des résultats reproductibles, fiables et 100 % reproductibles. L'équipement est également capable de capacités avancées telles que le contrôle des processus en boucle fermée, la détection rapide des points d'extrémité des plaquettes, le contrôle précis des gravures et le fonctionnement entièrement automatisé.