Occasion MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9112093 à vendre en France
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ID: 9112093
Style Vintage: 1999
RMX Magnet Assembly Target Gun, P/N: A119124
Oriental Motor P/N: 51K40GN-AW
1999 vintage.
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star est un équipement de pulvérisation à plusieurs cibles utilisé dans le dépôt de couches minces. Il convient pour enduire différents films de différents matériaux, y compris les métaux et les diélectriques. MRC Eclipse Star peut produire des films avec une excellente uniformité et adhérence, ce qui le rend excellent pour la production de dispositifs optoélectroniques et à panneaux plats. Le système de pulvérisation est basé sur une chambre excitée RF à polarisation magnétique multi-cibles. L'unité est capable d'effectuer simultanément des pulvérisations à partir de deux cibles, permettant une plus grande homogénéité des dépôts et des temps de traitement plus rapides. TEL Eclipse Star est équipé d'une machine d'alimentation en gaz réactif très sensible pour le contrôle des processus accordables. Les vannes et les pompes peuvent être programmées au sein d'un outil de contrôle intégré, ce qui permet aux utilisateurs de contrôler et d'ajuster avec précision les paramètres du processus. Un actif sous vide intégré permet un fonctionnement à basse pression de base et une pulvérisation efficace. Les conceptions cibles très efficaces d'Eclipse Star permettent des taux de dépôt plus élevés et des films plus épais. L'épaisseur maximale du film peut dépasser 14 microns. En outre, TOKYO ELECTRON Eclipse Star peut précisément déposer des films minces avec une grande précision et uniformité. Ses caractéristiques avancées permettent également aux opérateurs d'obtenir un contrôle plus fin des propriétés du film, telles que la vitesse de gravure et la stabilité thermique. L'interface utilisateur de MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star fournit diverses fonctionnalités pour enregistrer, analyser et stocker des données sur les paramètres du processus. Elle est conforme aux normes mondiales applicables en matière de sécurité et d'environnement afin d'assurer la protection des utilisateurs et de l'environnement. L'utilisateur est également en mesure d'installer des modules optionnels, tels que l'accès à distance et le contrôle en ligne à distance, pour une surveillance complète du modèle. MRC Eclipse Star convient pour le traitement d'une variété de matériaux, y compris les métaux, les diélectriques et d'autres matériaux. Il est équipé d'une gamme d'accessoires de nettoyage et d'une unité de pré-nettoyage plasma sélectionnable pour une excellente qualité de dépôt en couches minces. L'équipement peut être utilisé pour produire des films lisses et sans fissure avec une excellente adhérence, idéal pour une utilisation dans des applications de haute précision. En conclusion, TEL Eclipse Star est un système de pulvérisation hautement avancé, avec des caractéristiques telles que des cibles multiples, un contrôle précis des paramètres du procédé et une excellente qualité de dépôt en couches minces. Il est adapté à un certain nombre d'applications et est bien adapté à la production de dispositifs optoélectroniques et à panneaux plats.
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