Occasion MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9222754 à vendre en France
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ID: 9222754
System
(2) Compressor sets
Fry pump
Control PC included
Targets: AlSi, Pure-Al, Ti
Etch type: Hard etch
Magnets:
SPA
SPA
RMX
RMA
Power supply:
(3) Master sets
(3) Slave sets.
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star est un équipement de pulvérisation en phase vapeur (PVD) conçu pour déposer des couches minces de matière sur un substrat de manière contrôlée et efficace. Le MRC Eclipse Star est équipé d'une chambre de verrouillage de charge de 8 po, ce qui réduit la contamination atmosphérique. Le système est compatible avec une large gamme de matériaux et de substrats, ce qui le rend parfait pour une variété d'applications de revêtement personnalisées. TEL Eclipse Star dispose d'une large gamme de sources de pulvérisation, y compris un magnétron planaire, une cible multi-pièces ou des cathodes dédiées alimentées par une variété d'alimentations RF et DC. Ceci permet le dépôt ciblé de matière sur les substrats dans une variété de formats. L'unité dispose également d'une technologie de chauffage par substrat faible, pour une meilleure homogénéité des films pulvérisés tout en déposant sur des matériaux sensibles à la température. TOKYO ELECTRON Eclipse Star est conçu pour un contrôle optimal des processus, avec un PC en réseau pour l'entrée des utilisateurs et la surveillance des machines. Il dispose également de contrôle de processus en boucle fermée, permettant des performances de revêtement précises et répétables avec contrôle en boucle fermée des paramètres de pulvérisation. L'outil est complété par un ensemble d'accessoires, y compris des régulateurs de température, des vannes multi-gaz, la rotation du substrat et des traceurs de mouvement linéaires. En outre, l'actif comporte une surveillance avancée des processus pour améliorer le contrôle des processus, y compris un modèle d'ajustement automatisé permettant des ajustements rapides et précis des processus pendant le dépôt. Il comprend également une puissante collection de logiciels et de matériel de métrologie, y compris le protocole SECS/GEM, qui permet le contrôle des processus en boucle fermée et le suivi en temps réel des résultats des processus. Eclipse Star est une solution rentable pour un large éventail de besoins de dépôt de couches minces, fournissant des résultats de revêtement efficaces, fiables et reproductibles. Il dispose d'un design modulaire pour une installation et un entretien faciles, ainsi que d'une large gamme de sources de pulvérisation, de systèmes de contrôle de la température et d'accessoires personnalisés qui rendent l'équipement adapté aux flux de travail personnalisés. Les fonctionnalités avancées de surveillance des processus et le matériel et le logiciel de métrologie font MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star la solution idéale pour toute application de dépôt de couches minces.
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