Occasion MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9314540 à vendre en France

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star est un équipement de pulvérisation électrique conçu pour fournir un niveau élevé de précision, de précision et de fiabilité lors du dépôt et de la gravure de couches minces pour des applications telles que la production de dispositifs microélectroniques, optoélectroniques et micromécaniques. Le système se compose d'une chambre à vide, d'une chambre à vide et d'une série de contrôleurs de processus et d'équipements associés. L'unité de pulvérisation est principalement utilisée pour le dépôt de couches minces de métaux, d'oxydes et de nitrures sur des films minces ou des substrats. La chambre à vide haute de la machine fonctionne à un niveau de vide supérieur à 10-7 Torr, fournissant une densité de particules ultra-faible pour le dépôt ultra-haute pureté. L'outil est conçu pour offrir une gamme de réglages de pression de 10-7 à 10-6 Torr. Un outil automatisé de verrouillage de charge est inclus pour le chargement et le déchargement des substrats, ce qui donne un environnement propre et exempt de contamination. La chambre à vide basse de MRC Eclipse Star fonctionne de 10-3 à 10-5 Torr, ce qui permet une zone intermédiaire entre la chambre à vide élevé et l'atmosphère. La chambre basse dépression dispose de multiples emplacements cibles qui permettent la pulvérisation simultanée de matériaux de dépôt multiples, permettant une variété de microstructures à couche mince. TEL Eclipse Star est alimenté par une série de contrôleurs de processus avancés qui peuvent être programmés pour surveiller, réguler et maintenir une variété de paramètres clés. Ces contrôleurs permettent aux utilisateurs de contrôler avec précision des paramètres tels que le débit, la pression et la température. Les logiciels du modèle fournissent aux utilisateurs la surveillance, l'analyse et le contrôle des données, ce qui permet une précision accrue du processus. Eclipse Star est conçu pour permettre aux utilisateurs de créer des films minces de haute pureté et de faibles trous de pincement. L'équipement est équipé de mécanismes de diagnostic in situ, tels qu'une caméra infrarouge qui surveille la température des échantillons pendant la pulvérisation et un spectromètre d'émission optique qui surveille l'état d'excitation optique de chaque espèce pulvérisée. Cela permet aux utilisateurs de surveiller avec précision le processus de dépôt des pulvérisateurs. Dans d'autres applications de dépôt et de gravure de couches minces de précision, TOKYO ELECTRON Eclipse Star offre des films fiables et uniformes qui fournissent des microstructures parfaitement adaptées aux composants les plus exigeants. MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star système de pulvérisation est conçu pour offrir aux utilisateurs des performances et une fiabilité inégalées.