Occasion NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP #9212853 à vendre en France

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ID: 9212853
Taille de la plaquette: 12"
Sputtering system, 12" Loadport type: Porta 300, 12" EFEM Robot type: GENMARK GB7 (3L7S030635) Degas Tray type: T-cool RF Generator: ICP 3155031-031A RF Match (5) Magnetrons: Magnetron types: Ti (G1) TiW(G1) Cu (M4) Cu (M4) Cu (M4) 3152422-112S Magnetron power supply MFC Type: MFC1-Model: 1179A22CR15V-S MFC2-Model: 1179A00422CR15V EBARA VOS100P Dry pump Cryo pump (etch chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8116199G001 Cryo pump (dep chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8115914G001 Cryo pump side (dep chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8116199G001 Ion gauge (etch chamber): 354005-YE-T Baratron (etch chamber): 627BU5TDDIB Ion gauge (dep chamber): 354005-YE-T Baratron (dep chamber): 627BU5TDDIB.
NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP est un équipement robuste et performant conçu pour des applications critiques. Le système est construit avec un intérieur en acier inoxydable et un extérieur en aluminium pour une durabilité supérieure et des performances élevées. Nimbus 364XP comprend une chambre de réaction à 4 chambres capable de traiter une grande variété de matériaux simultanément avec un contrôle précis des paramètres du procédé. L'unité inclut aussi des alimentations électriques très haut de gamme, un moteur stepper 3D intégré pour le positionnement précis des détenteurs de promotion et VacuumMaster nouvellement conçu Plus la Machine de Contrôle (VMPC) pour garantir l'opération conséquente et fiable. Les alimentations haut de gamme intégrées dans NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP fournissent la puissance nécessaire pour pulvériser le matériau de choix et utiliser des techniques avancées de modulation de largeur d'impulsion et de pulsation de tension pour garantir des conditions plasmatiques idéales qui sont critiques pour un processus parfaitement reproductible. Il existe également une unité de contrôle du débit de gaz (GFCU) intégrée à l'outil pour assurer un contrôle précis du débit de gaz à travers la chambre pendant le processus. La chambre de réaction intégrée de Nimbus 364XP est composée de quatre chambres distinctes, chacune étant capable de pulvériser des matériaux différents afin de faciliter le processus de plusieurs couches et d'obtenir des résultats cohérents et prévisibles. Le moteur pas à pas 3D assure un positionnement précis des porte-échantillons dans chaque chambre selon les besoins afin d'optimiser le processus. VacuumMaster Plus l'Actif de Contrôle (VMPC) garantit l'opération fiable et conséquente du modèle, avec l'erreur détaillée à noter et la surveillance de statut en temps réel. Le VMPC comprend également des programmes qui permettent aux utilisateurs de surveiller les paramètres du processus, d'ajuster le processus au besoin et de surveiller les progrès. Globalement NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP fournit un équipement puissant et fiable pour produire des couches précises de films minces. Le système offre une excellente répétabilité et contrôle des paramètres de processus, et sa conception polyvalente à quatre chambres permet de traiter plusieurs matériaux simultanément. Les alimentations avancées et le moteur 3D pas à pas intégré garantissent d'excellentes performances, tandis que le VMPC assure un fonctionnement fiable et cohérent.
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