Occasion NORDIKO 3000 #9228384 à vendre en France
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ID: 9228384
Dual ion beam sputter coater
Al203 RF Coupling ceramic window have been replaced
(14) DIBS Targets, 6"
Al, TiN, Zr, Ni, SiO2, Mg, Si, Yt, ITO, Cr, Hf, Zn, AlN, Mo
Spare parts:
Qty / Make / Model / Description / Part no
(1) / LEYBOLD / Trivac D40 BCS PFPE / Roughing pump / 11389B
(1) / LEYBOLD / TurboVac 100C / Turbo pump / 85535
(1) / LEYBOLD / Turbotronik NT1000/1500VH / Turbo controller / 40-2461-8
(2) / RF PLASMA PRODUCTS / RF5 / RF Controllers / -
(2) / SORENSEN / DCS 600 1.7 / Neutralizer power supplies / 1210
(1) / HELIX CTI CRYOGENICS / Cryo Torr 8 / Cryo pump / 8033179
(1) / CTI-CRYOGENICS / 8300 / Compressor / 8052000
(1) / GLASSMAN HIGH VOLTAGE INC / PS / ER OIR 300-220 / DC Power supply / -.
NORDIKO 3000 est un équipement complet de pulvérisation qui comprend une chambre de dépôt, une pompe à vide, une unité d'alimentation et de contrôle, ainsi que les composants nécessaires. La chambre est conçue pour avoir une traversée électrique sous vide, ce qui permet d'alimenter les substrats en tension continue pour le dépôt de couches minces. La pompe à vide et l'unité de commande permettent un vide optimal dans la chambre. L'alimentation est pour le fonctionnement du magnétron, et fournit de l'énergie pour le processus de pulvérisation. 3000 est équipé d'une suspension magnétique et de la technologie de pulvérisation à courant continu pulsé. Ceci permet le dépôt de films métalliques très adhérents avec une très bonne homogénéité, une homogénéité et une excellente adhérence des métaux déposés sur les substrats. La suspension magnétique permet de maintenir un film pulvérisé très uniforme et de grande qualité, même sur des substrats assez grands. NORDIKO 3000 dispose d'une puissance et d'une fréquence réglables pour jouer un rôle clé dans le contrôle de la vitesse de dépôt et de la composition des couches métalliques du film pulvérisé. La fréquence d'impulsion réglable augmente également la vitesse de dépôt tout en offrant une homogénéité améliorée, car les noeuds non uniformément chauffés de l'impulsion sont éliminés. Il en résulte que 3000 peuvent produire des couches minces à la fois denses et poreuses, très adhérentes aux substrats. La conception multi-chambres du système NORDIKO 3000 permet de traiter deux substrats simultanément, augmentant ainsi le débit. Il est également très économe en énergie, offrant un temps de traitement réduit, une meilleure uniformité et une répétabilité améliorée. En outre, l'unité est en mesure d'assurer une bonne protection de l'environnement grâce à sa machine d'étanchéité multiple. Dans l'ensemble, l'outil de pulvérisation 3000 offre d'excellentes performances et convient à de nombreuses applications de dépôt en couches minces. Il peut fournir une excellente uniformité, répétabilité et adhérence pour les métaux et autres matériaux, permettant un grand contrôle sur le processus de dépôt.
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