Occasion NOVELLUS MB2 #100079 à vendre en France
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NOVELLUS MB2 est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour des applications à haut débit, haute précision et reproductibles. Le système offre une plate-forme robuste et efficace pour les processus de dépôt avancés. L'unité de pulvérisation MB2 est capable de produire des films conformes très uniformes avec une excellente couverture par étapes sur de grandes et petites zones de substrat. NOVELLUS MB2 est alimenté par une technologie numérique unique TVB (Thin Film Vanadium) qui utilise la pulvérisation radio fréquence haute puissance pour permettre un dépôt rapide et efficace. La machine de contrôle avancée permet des processus de dépôt des pulvérisateurs précis et reproductibles, offrant une excellente consistance du matériau, ainsi qu'une épaisseur uniforme sur l'ensemble du substrat. Le Digital TVB dispose également de paramètres QuickStart avancés et de plusieurs préréglements de processus, permettant aux opérateurs de configurer et d'exécuter rapidement et avec précision plusieurs processus de dépôt. MB2 offre un design unique à deux chambres qui offre flexibilité et efficacité dans l'utilisation. La chambre de dépôt primaire est assez grande pour les substrats jusqu'à 200mm et la petite chambre d'échantillonnage gère jusqu'à 75mm de substrats. La chambre d'échantillonnage peut être accordée indépendamment de la chambre principale, ce qui permet un débit plus élevé dans la chambre principale et des procédés plus optimaux dans la chambre d'échantillon. L'outil est équipé d'une variété de gaz, y compris Ar, O2 et N2 pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur. NOVELLUS MB2 dispose également de systèmes de surveillance des processus, tels que les capteurs de microbalance à cristaux de quartz/impédance à cristaux de quartz (QCM/QCI) et les capteurs de spectroscopie d'émission optique (OES). Ces systèmes de surveillance sont utilisés pour surveiller de près et contrôler avec précision le processus de dépôt, en assurant un degré élevé de précision et de répétabilité. MB2 offre une variété d'outils et de technologies qui en font un excellent choix pour diverses applications, telles que l'optoélectronique, la microélectronique et les dispositifs de puissance. Avec sa combinaison de caractéristiques avancées et de fiabilité, NOVELLUS MB2 est un excellent choix pour les processus de dépôt de précision.
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