Occasion NOVELLUS MB2 #188659 à vendre en France

NOVELLUS MB2 est un équipement de dépôt de pulvérisateurs utilisés pour des applications en couches minces dans l'industrie. Il utilise un bombardement par faisceau d'électrons de cible inclinée dans une gamme de dimensions allant jusqu'à 12 pouces de diamètre, permettant son utilisation dans des systèmes avec les normes les plus élevées de précision et de précision. En contrôlant le bombardement énergétique des électrons, MB2 est capable de reproduire des motifs détaillés qui adhèrent à une plage extrêmement serrée en combinaison avec le processus de dépôt en couches minces. Le système est également conçu pour intégrer la surveillance des processus, comme la spectroscopie optique d'émission, à travers ses fenêtres de processus de pulvérisation, fournissant des temps de réponse plus rapides et un meilleur contrôle de la qualité sur les mécanismes. La source de pulvérisation est conçue pour s'adapter à une variété de cibles. Des matériaux comme le chrome, le molybdène, l'or et l'argent peuvent être utilisés pour la couverture de grande surface, fournissant au client des applications plus créatives de la structure de film mince. La source assure également un contrôle indépendant du courant du faisceau d'électrons, de la tension d'accélération et de la taille de la source, permettant un contrôle précis des paramètres et du profil du film sur le substrat. La chambre de pulvérisation abrite également une cible simple ou double rotative qui, combinée à des procédures innovantes de refroidissement et de préconditionnement, contribue à garantir la qualité et l'homogénéité de la zone ciblée. L'unité est également équipée d'un dispositif de vitrage avancé qui permet le dépôt simultané de plusieurs couches minces. Cela élimine la nécessité de changer d'objectif, améliorant encore l'efficacité dans le temps et la précision du processus. En outre, la machine comprend un outil de polarisation de substrat RF précisément contrôlé développé pour fournir une couverture uniforme et des performances uniformes. La technologie de polarisation simplifie la structuration de structures complexes tout en offrant la possibilité d'obtenir une meilleure qualité et uniformité des matériaux. NOVELLUS MB2 offre également un actif sous vide avec une surveillance précise de la pression, de la température et de la puissance magnétron, ainsi qu'une capacité de purge de l'azote pour la protection contre l'oxydation. Le modèle fournit également des opérations de butler PLC, ainsi que la capacité de purge de sortie, construit dans les caractéristiques de sécurité, et la protection contre la rupture de la buse. En outre, l'équipement a la capacité d'économiser des recettes en mémoire et de surveiller plusieurs paramètres de processus en temps réel, ce qui facilite la surveillance et le maintien de rendements élevés et de normes d'assurance de la qualité. En conclusion, le système de dépôt de pulvérisateur MB2 est conçu pour être rapide, précis et fiable. Avec le contrôle des paramètres, l'utilisation de gaz réactifs, de multiples fenêtres d'appareil, et la polarisation réglable du substrat RF, l'unité est conçue pour fournir des capacités de dépôt flexibles et précises. La combinaison globale des caractéristiques de la machine et le contrôle des processus en font un choix fort pour tous les besoins avancés de dépôt de couches minces.