Occasion NOVELLUS / VARIAN 3190 #9216672 à vendre en France
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L'équipement NOVELLUS/VARIAN 3190 est un système de pulvérisation sous vide multi-chambres utilisé pour le dépôt de couches minces sur une variété de matériaux. Il est conçu pour fournir d'excellentes propriétés de couches minces d'une manière économique efficace et favorable au débit. VARIAN 3190 utilise un design multi-chambres avec deux sections principales. La chambre avant est le récipient de transfert de substrat, où tout le travail avec le substrat commence, y compris la manutention des matériaux, l'amorçage, la pulvérisation et les opérations de post-traitement. La chambre arrière est la chambre à vide, où un vide élevé est réalisé selon des paramètres spécifiques. La chambre à vide peut être adaptée en fonction des matériaux, de la taille du substrat, des techniques de dépôt et d'autres facteurs. En plus des deux chambres principales, NOVELLUS 3190 dispose également d'une tour magnétique en plaquette, d'un directeur de lot semi-permanent et d'une tête de pulvérisation magnétique à commande fine. La tour magnétique contient deux aimants qui permettent de stabiliser le dépôt du film en maintenant le substrat en position fixe. Le directeur de lot semi-permanent est un puissant bras robotique interne qui aide à automatiser une partie de la manutention des matériaux entre les chambres. Le bras robotique assure également un contrôle précis du processus de dépôt. La tête de pulvérisation magnétique à commande fine est un composant de précision qui est capable de contrôler avec précision le temps de pulvérisation et la puissance sur jusqu'à quatre cathodes différentes. En plus de fournir une machine de manutention/pulvérisation de matériaux conviviale et cohérente, 3190 est également reconnu pour sa conception environnementale à faible impact. L'outil est capable de fonctionner avec une chambre à très faible débit, ce qui le rend idéal pour les environnements fermés et à ciel ouvert. Il est également conçu pour permettre l'utilisation de solvants respectueux de l'environnement, réduisant ainsi les rejets de composés organiques volatils (COV) dans l'atmosphère. NOVELLUS/VARIAN 3190 actif est un modèle de pulvérisation fiable et efficace, fournissant d'excellents résultats de dépôt. Avec ses multiples chambres, son bras robotique et sa tête de pulvérisation magnétique, l'équipement fournit une solution efficace et flexible pour diverses applications de dépôt. En outre, ses caractéristiques de conception en font un système respectueux de l'environnement, réduisant les émissions et les coûts de COV.
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