Occasion NOVELLUS / VARIAN XM 90 #9226347 à vendre en France
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ID: 9226347
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1992
Sputtering system, 6"
1992 vintage.
NOVELLUS/VARIAN XM 90 est un équipement de pulvérisation conçu pour des applications de recherche et développement ou d'environnement de production. VARIAN XM 90 est une chambre modulaire numérique qui offre un haut degré de contrôle et de flexibilité dans le dépôt de couches minces. Le système dispose d'une chambre de 500mm par 500mm et est composé de 5 sources de pulvérisation, avec des tailles cibles variables de 10 à 60cm. Il est conçu pour traiter une variété de matériaux, y compris le métal, la céramique et les substrats organiques. NOVELLUS XM-90 est conçu pour offrir un certain nombre d'options de suivi et d'optimisation des processus. Il dispose d'une unité de contrôle automatisé des gaz pour l'application des gaz inertes et réactifs, permettant un contrôle précis du plasma. De plus, des paramètres de processus tels que la pression, la puissance RF et la température peuvent être ajustés pour personnaliser les paramètres de processus. La machine optique intégrée permet une surveillance en temps réel des conditions de dépôt, et l'outil de rétroaction en boucle fermée permet d'assurer des films précis et des résultats reproductibles. Le design du NOVELLUS/VARIAN XM-90 est doté d'un soufflet à séchage rapide qui permet un chargement et un déchargement rapides et faciles. Il est également conçu pour être mécaniquement compatible avec une variété d'autres machines VARIAN, y compris les XM 70, XP-6010 et XP-61000, permettant une intégration facile dans une installation existante. De plus, le modèle comprend des dispositifs de sécurité complets pour l'opérateur et l'équipement. XM-90 a un cycle de processus contrôlé par ordinateur qui permet de programmer les paramètres de processus, l'accès à distance et l'exécution automatisée de la recette. Son interface utilisateur graphique (UI) facile à utiliser est conçue pour assurer un contrôle et un suivi faciles des recettes de processus. De plus, l'interface de contrôle VARIAN XM-90 supporte un réseau d'ordinateurs reliés et peut fournir un accès à distance au XM 90. Dans l'ensemble, NOVELLUS XM 90 est un système de pulvérisation perfectionné conçu pour les environnements de recherche et de production. Avec son large éventail d'options et de fonctionnalités, il permet un contrôle précis et l'optimisation des processus pour des films reproductibles et de haute qualité. De plus, l'unité offre d'excellentes fonctionnalités de sécurité, une intégration facile dans une installation existante et un accès à distance. Par conséquent, NOVELLUS/VARIAN XM 90 est un choix idéal pour les utilisateurs qui recherchent une machine à pulvériser fiable et polyvalente.
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