Occasion NRC / VARIAN 3115 #70870 à vendre en France
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ID: 70870
Thermal evaporator. Includes 18 x 30" tall stainless steel bell jar, 2 KVA filament power supply with tap switch, M4 diffusion pump, cryo baffle and 17 cfm mechanical pump. With ion/tc gauging and 701 automatic valve sequencer. Counter weighted hoist.
NRC/VARIAN 3115 est un système entièrement automatisé de pulvérisation sous vide conçu pour des applications de dépôt de couches minces très précises. Il est largement connu pour ses hautes performances, sa robustesse et sa conception conviviale. Le système est équipé d'un pistolet rotatif avancé, capable de déposer à la fois des couches minces conductrices et isolantes. De plus, le PLC (Programmable Logic Controller) et le contrôle de pression de la soufflante sont utilisés, fournissant une surveillance précise du processus et l'efficacité de la maintenance. La chambre du CNRC 3115 est exceptionnellement propre, permettant le dépôt de couches minces avec une excellente reproductibilité et uniformité. Il est équipé d'un porte-cible à profondeur variable et d'un alignement rotatif in situ qui élimine le risque de collage des cibles. Les niveaux de vide sont stables et, pendant le dépôt, le contrôle de pression est réglé à l'aide du régulateur de débit massique intégré. VARIAN 3115 est conçu pour traiter tous les types de procédés de pulvérisation, y compris le dépôt de couches minces, les couches de couches ultra-minces et les procédés de dépôt par couches comme l'empilement multicouches. Le contrôle de la température est effectué par un élément de chauffage résistif qui peut être utilisé pour fournir une température uniforme à travers la cible de pulvérisation. Ceci assure une couverture uniforme et parfaite des matériaux sensibles. La quantité de pulvérisation et la composition des couches minces peuvent être contrôlées avec précision, à 0,5 % près, en ajustant les paramètres du procédé. Le contrôle de l'épaisseur peut être réalisé facilement à l'aide d'un pyromètre optique ou d'un ellipsomètre. La grande taille de la chambre de 3115, ainsi que sa surveillance continue des processus, rendent la production de composants à grande échelle relativement sans effort. Le CNRC/VARIAN 3115 est un outil précieux dans la production de composants sous vide, et avec sa vaste gamme de caractéristiques et de paramètres de rendement, il est capable de gérer avec succès une variété de processus de pulvérisation. Sa conception fiable et conviviale en fait un excellent choix pour des applications de dépôt de couches minces de qualité.
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