Occasion NRC / VARIAN 3117 #126817 à vendre en France
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ID: 126817
Auto evaporator
Stainless steel bell jar
Viewports
ASA flange on top
Motor hoist
Stainless stell base plate
Aluminum solid body
Air gate
Liquid N2 trap
Diffusion pump
Manual controls
Variac 2 kVa
Optical monitor with head
WELCH 1397 mechanical pump.
L'équipement de pulvérisation nucléaire CNRC/VARIAN 3117 est un outil de pulvérisation à haute performance et fiable conçu pour le dépôt efficace de couches minces. Il est capable de déposer une variété de matériaux tels que les métaux, les oxydes, les nitrures et les aérogels. Ce système utilise une combinaison de trois processus : évaporation, bombardement ionique et pulvérisation. Il dispose de deux chambres entièrement indépendantes avec un choix de l'une des trois configurations magnétron : magnétron, titane, ou indirect. L'unité comprend également deux sources RF pour l'évaporation et la pulvérisation, ce qui permet des dépôts avec des taux de dépôt élevés et une uniformité accrue. En outre, la machine a une capacité de 4 "de verrouillage de charge et un tambour d'échantillon dans les deux chambres, ce qui permet un transfert et un chargement rapides et faciles. Le CNRC 3117 est équipé d'un outil à ultra-haute dépression avec une pression de base de 10-6 Torr, garantissant une qualité de film mince et une uniformité supérieures. Les sources RF peuvent être utilisées pour contrôler la fréquence, le niveau de puissance et la modulation d'impulsions, ce qui permet un réglage fin des paramètres de dépôt. L'actif dispose également d'une interface de contrôle PC pour surveiller et régler les conditions, ainsi que d'un modèle de distribution de gaz réglable avec régulateurs de débit massique (MFC) pour définir une variété de paramètres de processus. VARIAN 3117 dispose d'un équipement rotatif de pulvérisation RF facile à utiliser, qui permet un contrôle précis de l'angle du matériau pulvérisé. De plus, le système dispose d'une unité de sécurité électrique haute tension intégrée, qui surveille la tension à la source et prévient les situations potentiellement dangereuses. La machine comprend également une gamme d'accessoires tels qu'un socle d'échantillons pour la manutention sécurisée, des éléments chauffants résistants pour le chauffage d'échantillons, et un choix de plusieurs sources de gaz magnétiques et inertes pour un meilleur contrôle des propriétés du film. 3117 est conçu pour être un outil convivial, avec un logiciel intuitif de contrôle de l'utilisateur et une variété de fonctionnalités le rendant facile à utiliser. Les techniques de dépôt de haute précision, le faible budget thermique et la qualité de construction fiable en font un excellent choix pour une variété d'applications de dépôt. Le CNRC/VARIAN 3117 est un outil idéal pour créer des structures à couches minces avec des taux élevés et des films uniformes de qualité supérieure.
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