Occasion NRC / VARIAN 3117 #151541 à vendre en France

Le CNRC/VARIAN 3117 est un équipement de pulvérisation magnétron à courant continu à basse pression (DC) conçu pour être utilisé dans des procédés de dépôt de haute précision. Le système de pulvérisation utilise une tête de pulvérisation magnétron à deux poches pour déposer des revêtements de haute qualité sur divers matériaux de substrat. L'unité de pulvérisation contient une machine électrique à radiofréquence avancée (RF) conçue pour maximiser le rendement de dépôt et l'uniformité. Il est capable de déposer un large éventail de matériaux, des métaux aux semi-conducteurs et isolants. Le CNRC 3117 comprend également un outil de vide pour créer un environnement presque parfaitement propre dans lequel on peut pulvériser, ainsi qu'un certain nombre de dispositifs de sécurité pour s'assurer que l'actif respecte les normes gouvernementales. Le modèle à vide comprend une pompe mécanique turbo à sept étages, une pompe à membrane et une jauge Pirani pour évacuer les échantillons jusqu'à des pressions de base d'environ 1,3 x 10-6 mBar. L'équipement est également équipé d'un piège à froid pour réduire le dégazage, d'un séparateur de gaz pour s'assurer que le métal déposé est du métal pur pulvérisé, et d'une jauge d'ionisation pour mesurer le niveau de contamination atmosphérique. La tête de pulvérisation peut être chargée de diverses sources, du métal à l'isolant. Les alimentations de VARIAN 3117 peuvent être configurées pour la pulvérisation à magnétron continu et le dépôt à courant continu RF ou pulsé. L'alimentation RF est conçue pour des charges de forte puissance et des commutations rapides de fréquence, permettant un contrôle précis de la vitesse de dépôt. Il est capable d'une puissance RF réglable de 0 à 1,2 kW et d'une largeur d'impulsion réglable de 0 à 4 μ S. La tête est conçue pour une réponse rapide et un débit élevé, et les conditions de processus peuvent être ajustées pour une croissance optimale du film. 3117 fournit une large gamme de régulation de température, de l'ambiante à 930 ° C (1706 ° F). La conception du creuset à haute température évite la contamination du substrat due aux gradients thermiques. Le CNRC/VARIAN 3117 est également équipé d'un logiciel de pointe qui permet un contrôle en boucle fermée et un fonctionnement assisté par microprocesseur. L'interface conviviale permet la surveillance, l'enregistrement et le contrôle en temps réel des processus de pulvérisation et des processus auxiliaires. Dans l'ensemble, le CNRC 3117 est un système perfectionné et polyvalent de pulvérisation qui peut être utilisé dans diverses applications. L'interface conviviale et une large gamme de paramètres de contrôle le rendent idéal pour les processus de dépôt de haute précision.