Occasion NRC / VARIAN 3117 #19408 à vendre en France

ID: 19408
E-Beam evaporator 18" dia x 30" tall Pyrex bell jar Implosion cage on 20" dia SS baseplate With electromechanical hoist TEMESCAL TIH270 E-Beam gun ES6A E-beam power supply, 6 kW Sloan Omni III Quartz crystal deposition monitor Ion and 2-position thermocouple gauge Pumping system: NRC / VARIAN VHS6 Diffusion pump Rated: 2400 L/s NRC 316 Series LN2 trap Electro pneumatic valve with sequencer Mechanical roughing pump: 17 CFM.
L'équipement de pulvérisation atmosphérique NRC/VARIAN 3117 est un système complet de dépôt en phase vapeur de couches de matériaux métalliques et isolants. Il est conçu pour diverses applications, y compris les revêtements pour dispositifs microélectroniques et optoélectroniques, transistors à couches minces, aimants et autres structures avancées. Avec sa conception à double canon, cette unité est capable de produire un dépôt uniforme et lisse sur de grandes surfaces. Le CNRC 3117 est doté d'une technologie avancée de suppression d'arc qui permet une excellente répétabilité et fiabilité des processus. Cette technologie dispose d'un cône d'émission ionique uniforme avec une nappe étroite de lignes de champ électrique pour éviter l'apparition d'arcs et d'étincelles électriques. Ses quatre positions cibles distinctes, ses alimentations RF avancées et ses contrôleurs, ainsi que ses capacités de rotation et de refroidissement intégrées lui permettent de déposer efficacement des couches statistiquement uniformes sur de grandes surfaces. VARIAN 3117 est compatible avec pratiquement tout type de matériau, y compris les métaux, les semi-conducteurs, les isolants et les diélectriques à haut k. Sa conception modulaire permet une variété de tailles et de formes de substrat, permettant le contrôle manuel ou automatisé de la forme et de la position du substrat pour des résultats optimaux. Ses cassettes rechargeables et sa salle blanche à bord facilitent la reconfiguration rapide des outils et le contrôle serré des processus. La machine dispose également d'un contrôle de processus sophistiqué avec la technologie électronique de contrôle de rotation (ECR) qui permet une rotation précise de la plaquette source et des positions d'étage. Cette technologie produit des couches uniformes et un nettoyage par faisceau d'ions argon pour certains éléments métalliques, carbone et autres. L'outil offre également des systèmes avancés de suivi des processus et de rétroaction pour les cycles automatisés de dépôt et de nettoyage et pour améliorer la répétabilité des processus. Son atout de recirculation et son modèle de chicane bidirectionnel empêchent la contamination du flux sortant et l'entrée de particules pendant le processus de dépôt. 3117 équipements de pulvérisation est une solution idéale pour les technologies émergentes nécessitant un dépôt de haute précision et à haut débit de couches métalliques ou diélectriques propres et uniformes. Ses fonctionnalités avancées axées sur la productivité en font un choix attrayant pour une variété d'applications, allant de la microélectronique avancée aux dispositifs médicaux.
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